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中山大学材料学院无掩膜紫外光刻机采购项目

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2025年03月24日

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摘要信息

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大学学院紫外光采购项目

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	****材料学院无掩膜紫外光刻机采购项目
申购主题	无掩膜紫外光刻机
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	720,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2025-03-24 16:31	报名及响应结束时间	2025-03-31 09:00
采购单位	****
经办人	王老师	经办人电话	****5092
期望收货时间	合同签订后30天交货
是否送货	是	送货地址	省市区公常路66号******学院1栋B110
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、**学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.**.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。电子标服务

| 采购明细

1采购设备	无掩膜紫外光刻机
数量	1台
参考品牌

“无掩膜紫外光刻机”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	*光刻精度：至少支持两个光刻镜头：光刻镜头1：最小线宽1.2 μm，线宽均匀性：工作距离≥19 mm，景深：2um；光刻镜头2：最小线宽0.8 μm，线宽均匀性：工作距离≥12 mm,景深：1.2um 预留空间样品厚度：≥8 mm	非常重要	是	是
2	▲具备交互式套刻指引功能：可实时光刻图形的预览，验收时可软件演示	非常重要	否	是
3	▲具备图像识别对焦功能	非常重要	否	是
4	可实现光刻镜头电动切换	重要	否	是
5	曝光波长：LED 405 nm,光源处的功率≥10W，寿命≥10000h.（	重要	否	是
6	数字掩模板分辨率：≥1920 1080，微镜尺寸≤7.6 um	重要	否	是
7	显微观测：可实现显微观测且不会引起光刻胶变性	重要	否	是
8	▲样品台尺寸：≥130 mm 130 mm，有效曝光面积≥125 mm*125 mm	非常重要	否	是
9	可实现样品旋转	重要	否	是
10	样品吸附：真空吸附样品，气体流量：7 L/min,真空度：30 kPa	重要	否	是
11	画图软件：可实现阵列画图、套刻画图	重要	否	是
12	▲设备软件：原位光绘功能：可实现原位绘制光刻图形物像绑定功能：可实现样品图形和光刻图形绑定，实时对应成像拼接功能：可实现样品图形的大范围拼接，实现大范围样品查找畸变矫正功能：可实现光刻图形算法畸变矫正，实现精准套刻	非常重要	否	是
13	运动台步进精度：50 nm、重复定位精：±100 nm	重要	否	是
14	无掩膜紫外光刻机，1台	重要	否	是

| 资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	免费保修年限	2年 3年 4年 5年及以上	是
2	合同履约	**学校合同范本执行下载地址：http://www..com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《**国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	保修范围	1、保修期内的保修内容与范围：（1）在保修期内出现属于合同设备原因的故障，卖方负责无偿修理及免费提供备件（除耗材外）。（2）保修期内若合同设备出现确实属于买方原因造成的非正常损坏（即：人为错误而导致的损坏），则由买方承担受损零件的全部费用，卖方负责修理。 2、超过保修期后的保修内容与范围：保修期外的涉及到零部件出现故障，厂家需按成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。	是
5	售后服务要求	1、在保修期内，当设备发生故障、买方不能自行解决时，卖方在接到买方的通知后：（1）在24小时内响应；（2）72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）一般故障7天内解决（重大故障除外）。 2、超过保修期后，如合同设备发生故障，买方要求卖方对设备进行检查、维修时，卖方在接到买方的通知后：（1）在24小时内响应；（2）在72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）期间所发生的费用由买方承担。	是
6	培训要求	1、卖方负责对仪器进行安装调试，并对仪器操作人员进行技术培训。 2、培训人员：不少于2人； 3、培训时间：1天； 4、培训内容：仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。	是