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中山大学材料学院离子束刻蚀机采购项目

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2025年03月24日

摘要信息

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大学学院采购项目

招标详情

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***********公司企业信息

****材料学院离子束刻蚀机采购项目

发布时间： 2025-03-24 17:29

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	****材料学院离子束刻蚀机采购项目
申购主题	离子束刻蚀机
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	403,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2025-03-24 17:29	报名及响应结束时间	2025-03-31 09:00
采购单位	****
经办人	王老师	经办人电话	****5092
期望收货时间	合同签订后30天交货
是否送货	是	送货地址	省市区公常路66号******学院1栋207
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、**学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.**.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。电子标服务

| 采购明细

1采购设备	离子束刻蚀机
数量	1台
参考品牌

“离子束刻蚀机”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	主机参数:1、304不锈钢真空腔，刻蚀样品**装在真空腔室门板上，配备离子源挡板【须提供产品彩页或原厂商的官方技术白皮书（或产品说明书）或原厂商所作的技术参数说明或原厂商网站链接及网站产品说明的截图等详细技术资料加盖投标人公章】	重要	否	是
2	▲腔室有预留口，方便以后设备升级。	非常重要	否	是
3	真空分子泵抽速≥ 1200 L/s和前级泵抽速≥ 40 m3/h。	重要	否	是
4	极限真空度：≤ 8.5×10-5 Pa。	重要	否	是
5	腔室压力测量系统真空测量系统，需提供量程从400 Pa ~ 1×10-5 Pa的测量范围，真空测量的部件寿命不少于3年，高低真空量程自动切换。	重要	否	是
6	▲样品台台面为钛合金材料，直径为≥ 150 mm, 样品台自转速率：0 ~ 20 RPM。	非常重要	否	是
7	▲样品台倾斜角度±90°可调节，自动调节，精确度≤ ±1°。	非常重要	否	是
8	工艺气路及流量控制系统 (气体流量控制系统，1路工艺气体，一路N2用于阀门控制)。	重要	否	是
9	▲设备配置口径为≥ Φ150 mm的考夫曼离子源，以阳极筒内径为准；有效束径≥ Φ100 mm，Φ100 mm范围内均匀性≤ ±3%。【须提供产品彩页或原厂商的官方技术白皮书（或产品说明书）或原厂商所作的技术参数说明或原厂商网站链接及网站产品说明的截图等详细技术资料加盖投标人公章】	非常重要	否	是
10	▲氩离子能量可调范围；0 ~ 1000 eV,氩离子束流可调范围；0 ~ 130 mA ；离子能量稳定度：RMS值≤ ±2% /h离子束流稳定度：RMS值≤ ±2% /h；能量500 eV,束流100 mA的情况下，离子能量和束流自动匹配，【须提供产品彩页或原厂商的官方技术白皮书（或产品说明书）或原厂商所作的技术参数说明或原厂商网站链接及网站产品说明的截图等详细技术资料加盖投标人公章】	非常重要	否	是
11	刻蚀材料；Si，线宽1 ~ 100 μm,刻蚀速率：≥ 10 nm/min；MoS2,线宽;1 ~ 100 μm，刻蚀速率：≥ 5 nm/min.	重要	否	是
12	系统配置两套恒温水循环系统，一套用于分子泵和离子源室冷却，另一套专用于刻蚀工作台，按需调节和控制水温。冷却水温度：5 ～ 25 ℃。	重要	否	是
13	考夫曼离子源采用插装式安装，需方便拆装、清洗。	重要	否	是
14	采用计算机控制，具有设备的工艺控制、(支持单工艺和多工艺组)，故障的自诊断，及自动报警保护功能等方面功能，工艺控制包括用户管理、工艺编辑、气路控制、系统参数设置等模块，包含必要的安全互锁，高压保护和紧急停止系统（EMO）。	重要	否	是
15	1. 离子束刻蚀机主机1台； 2. 冷水机2台； 3. 平面抛光机1台； 4. 硅脂1件； 5. 离子源拆装工具1套； 6. 灯丝10套； 7. 离子源定位针6只	重要	否	是

| 资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	免费保修年限	3年 4年 5年 6年及以上	是
2	合同履约	**学校合同范本执行下载地址：http://www..com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《**国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	保修范围	1、保修期内的保修内容与范围：（1）在保修期内出现属于合同设备原因的故障，卖方负责无偿修理及免费提供备件（除耗材外）。（2）保修期内若合同设备出现确实属于买方原因造成的非正常损坏（即：人为错误而导致的损坏），则由买方承担受损零件的全部费用，卖方负责修理。2、超过保修期后的保修内容与范围：保修期外的涉及到零部件出现故障，如经权威部门鉴定属于寿命异常问题，厂方应无偿负责更换；除此之外，厂家需按不高于成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价，保修期内免费提供设备的技术服务，工艺支持和操作软件的升级维护服务，提供合同设备软件升级服务。	是
5	售后服务要求	1、在保修期内，当设备发生故障、买方不能自行解决时，卖方在接到买方的通知后：（1）在2小时内响应；（2）72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）一般故障1天内解决，重大故障3天内解决。2、超过保修期后，如合同设备发生故障，买方要求卖方对设备进行检查、维修时，卖方在接到买方的通知后：（1）在2小时内响应；（2）在72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）期间所发生的费用由买方承担。	是
6	培训要求	1、卖方负责对仪器进行安装调试，并对仪器操作人员进行技术培训。 2、培训人员：不少于2人； 3、培训时间：不少于4小时； 4、培训内容：设备操作各种典型工艺实验安全措施设备日常维护保养一般故障判断等	是