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| 三维光学轮廓仪 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 三维光学轮廓仪 |
| 预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0100-电工生产设备
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| 采购需求概况 : |
三维光学轮廓仪具备白光干涉、相位差干涉、共聚焦三种测量模式;物镜数量4个及以上,水平分辨率优于0.2μm,垂直分辨率优于0.2nm。CCD相机像素大于等于500万,帧率大于等于120;配备电动位移台,可实现晶圆位姿调整;配备数据批量处理软件,配备数据分析软件。以实际公告为准。
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| 预计采购时间: | 2025-05 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写