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| 光学薄膜蒸发系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 光学薄膜蒸发系统 |
| 预算金额: | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0300-电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
光学薄膜蒸发系统,设备需支持多层膜系设计,兼容多种镀膜材料(如Si、Ge、SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3等)。镀膜均匀性:≤±1%;膜层厚度控制精度:≤±0.5nm(需支持实时监控系统);真空度:≤5×10-6Pa(极限真空度);镀膜速率:根据工艺需求可调(如0.1-10nm/s);自动化程度:配备自动翻转系统、膜厚监控软件及工艺参数数据库;带离子源,配备光控模块,8寸向下兼容。以实际公告为准。
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| 预计采购时间: | 2025-04 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写