光学薄膜蒸发系统

发布时间: 2025年03月28日
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****2025年4至5月政府采购意向-光学薄膜蒸发系统 详细情况
光学薄膜蒸发系统
项目所在采购意向: ****2025年4至5月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 光学薄膜蒸发系统
预算金额: 450.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0300-电子工业生产设备
采购需求概况 :
光学薄膜蒸发系统,设备需支持多层膜系设计,兼容多种镀膜材料(如Si、Ge、SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3等)。镀膜均匀性:≤±1%;膜层厚度控制精度:≤±0.5nm(需支持实时监控系统);真空度:≤5×10-6Pa(极限真空度);镀膜速率:根据工艺需求可调(如0.1-10nm/s);自动化程度:配备自动翻转系统、膜厚监控软件及工艺参数数据库;带离子源,配备光控模块,8寸向下兼容。以实际公告为准。
预计采购时间: 2025-04
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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