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深圳大学 - 竞价公告（CB105902025000181）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2025-03-31 11:01:55 截止时间：2025-04-07 12:00:00标书代写
申购主题： 匀胶旋涂仪
报价要求： 进口含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订3天内送货
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 180000.0人民币
| 匀胶旋涂仪 | 1.0/台 | 180000.0 | Laurell | WS-650Mz-8NPPB | 主要技术参数： 1．处理腔体 1.1 Wafer 芯片尺寸至少满足 10-200mm 直径的材料，方片 175x175mm，无需 更换片托； 1.2 腔体具有易清洁的 NPP 天然聚丙烯材质； 2. 转动马达 2.1 转动速度至少满足 0-12,000rpm， 2.2 旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec； 2.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 3. 控制系统 3.1 工艺时间设定范围至少满足 1-5999.9 sec/step ，设定时间精度不超过 0.1s； 3.2 配有高精度 PLC 可编程的控制器； 3.3 可存储不少于 20 个程序段，每个程序段可设置不少于 51 个不同步骤的速度 状态； 3.4 *分辨率不超过 1RPM，重复性误差不超过 1RPM，具有国际标准认证，并且 无需再校准； 3.5 *配有蓝牙无线连接； 3.6 *带自动滴胶、晶圆去边 4 安全构造 4.1 电子绝缘负载双保护装置； 4.2 嵌锁的安全盖板； 4.3 防腐装置； 4.4 *设有保护气体装置：旋涂过程中可以充氮气或压缩气体，对旋转马达进行气 流保护； 5 系统附件 5.1 Windows 操作软件； 5.2 原装进口水平测试仪； 5.3 两袋密封圈； 5.4 *配有两套可更换的废液接收单元； 5.5 配套泵浦 | 售后服务 1.由原厂提供全新设备(包括零部件)，且设备的各零部件是产品出厂时的原始配置，设备质量符合国家质量检测标准，提供设备校准证书。 2、整机一年内同一故障维修两次仍不能正常使用可免费更换。 3、免费保修12个月。 4、不接受快递物流送货，交货时出具制造商售后服务承诺函；由原厂指派制造单位技术人员，对采购单位的操作、维护人员免费进行技术指导和培训。 5、合同设备出现故障时，供应商确保及时维修，并确保在接到用户方服务要求，1小时内做出回应，电话指导不能排除的故障，4小时内现场进行服务。并承诺24小时内修复故障。 |
招标进度跟踪
2025-04-09
2025-03-31
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