三维形貌扫描测量系统

发布时间: 2025年03月31日
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****2025年6至7月政府采购意向-三维形貌扫描测量系统 详细情况
三维形貌扫描测量系统
项目所在采购意向: ****2025年6至7月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 三维形貌扫描测量系统
预算金额: 260.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0803光电测量仪器
采购需求概况 :
三维形貌扫描测量系统,1套,拟采购设备可进行大尺寸工件的深度、宽度、体积、面积、晶粒、膜厚、线粗糙度、面粗糙度测量,可进行磨损情况、微观裂纹等形貌观测,微观部分:XY行程≥500mm,样品高度≥290mm,Z轴扫描行程>9mm,水平分辨率<0.13μm;宏观部分:XY行程≥300mm,倍率范围≥25-6700倍放大,大景深物镜工作距离≥65mm,镜体部分倾斜角度≥±85°,Z轴扫描聚焦行程(电动)>90mm。
预计采购时间: 2025-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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