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| 高真空系统 | 普迪真空 | 190000.00 | 185000.00 | 按行业标准提供服务 | 1、真空腔室:真空专用 304 不锈钢腔室,前门导轨采用双导轨设计,避免右侧导轨伸出到手套箱一侧,节省手套箱空间的同时外观更协调。后门采用手动铰链结构;前后门带玻璃观察窗,含防污挡板,真空室内外表面抛光处理。腔室预留有照明和膜厚仪等设备接口; 2、分子泵KYKY 公司FF200/1200+鲍斯 BSV24 旋片泵真空系统+气挡板阀侧部抽气系统; 真空测量:一低一高数显复合真空计; 3、真空极限:优于 5.0×10-5Pa(手套箱环境);漏率:优于 5×10-8Pa*L/S(国家标准);关机 12 小时后,真空度≤5Pa; 4、抽气时间:大气压~5*10-4Pa 小于 25min(手套箱环境) | 1.0套 | 定制 | 185000.00 | **** |