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高速光电探测器芯片及光器件产业化项目（二期工程）

审批

江苏-徐州

发布时间： 2025年04月07日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0301MA20WTCA2N	李莹
王千里	****开发区
****开发区创业路26号A-8号厂房

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

高速光电探测器芯片及光器件产业化项目（二期工程）	****

2021版本:080-电子器件制造	C3976-C3976-光电子器件制造
	**开发区 **开发区
经度:117.332778 纬度: 34.270556	****开发区行政审批局
	2023-08-09
徐开环表复〔2023〕22号	****0301MA20WTCA2N001W
	2350
73.8	****
****0301MA20WTCA2N	通标**公司
913********9749479	通标**公司
913********9749479	2024-12-03
2024-12-04	2024-12-31
2025-03-10	2025-04-07
	http://www.****.cn/yjzs_show.aspx?id=2582

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

光电子器件制造	光电子器件制造
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产高速光电探测器芯片及光器件6000万颗（件）	高速光电探测器芯片1200万颗/年（二期工程）
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产高速光电探测器芯片及光器件6000万颗（件）	高速光电探测器芯片1200万颗/年（二期工程）
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、严格按照“雨污分流、清污分流”的要求建设排水系统。项目施工期及营运期生活污水经化粪池**处理厂接管标准后与纯水制备产生的浓水处理厂继续处理。营运期有机废水、含氟废水、碱性废水应分类收集，由专管接入湾电**处理厂对应预处理单元分质处理，综合废水经湾电**处理厂处理达处理厂深度处理。 2、项目营运期厂房及生产设施应加强密闭，采取有效措施确保无组织废气稳定达标排放。PECVD工艺尾气、ICP工艺尾气废气经“高温燃烧+水洗+碱喷淋塔”装置处理达标后通过一根28米高排气筒排放（DA001）；固化、高温烘烤工序产生的有机废气经“二级活性炭”吸附处理装置处理达标后通过1根30米高排气筒（DA002）排放；光刻、有机溶剂清洗、HMDS预处理、背面减薄等工序产生的有机废气经“二级活性炭”吸附处理装置达标后通过1根28m高排气筒（DA003）排放；酸洗、锌扩散工序产生的酸性废气经碱喷淋塔中和处理达标后通过1根28米高排气筒（DA004）排放；危废暂存间（2-4号）产生的有机废气经“一级活性炭”吸附处理装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA005）排放；危废暂存间（2-1号）产生的酸性废气经“碱喷淋”装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA006）排放。 3、项目营运期应选用低噪声设备，对产生高噪声源的设备通过合理布局、隔声、减振、绿化吸声等降噪措施，确保厂界噪声排放满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。 4、按“减量化、化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物特别是危险废物的收集、处置和综合利用措施，严格按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）、《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》（苏环办〔2019〕327号）、《城市生活垃圾管理办法》（建设部令第157号）的要求加强各类固体废物的收集、贮存、转运。施工期、营运期生活垃圾由环卫部门及时清运；危险废物应交有处置资质的单位进行处置并严格按照《危险废物转移管理办法》（部令第23号）进行转移。	1、已严格按照“雨污分流、清污分流”的要求建设排水系统。项目施工期及营运期生活污水经化粪池**处理厂接管标准后与纯水制备产生的浓水处理厂继续处理。营运期有机废水、含氟废水、碱性废水应分类收集，由专管接入湾电**处理厂对应预处理单元分质处理，综合废水经湾电**处理厂处理达处理厂深度处理。 2、PECVD工艺尾气废气、ICP工艺尾气废气经“高温燃烧+水洗+碱喷淋塔”装置处理达标后通过一根28米高排气筒排放（DA001）；光刻、有机溶剂清洗、HMDS预处理、背面减薄等工序产生的有机废气经“二级活性炭”吸附处理装置达标后通过1根28m高排气筒（DA003）排放；酸洗、锌扩散工序产生的酸性废气经碱喷淋塔中和处理达标后通过1根28米高排气筒（DA004）排放；危废暂存间（2-4号）产生的有机废气经“一级活性炭”吸附处理装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA005）排放；危废暂存间（2-1号）产生的酸性废气经“碱喷淋”装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA006）排放。 3、已选用低噪声设备，对产生高噪声源的设备通过合理布局、隔声、减振、绿化吸声等降噪措施。 4、实际建设中，本项目（二期工程）产生的固体废物为为废包装物、解理、金属粉尘、纯水制备耗材、废光刻胶、废显影液、废有机溶剂、不合格品、废活性炭、废酸、废碱、含（金、钛、铜）废液、沉淀池污泥、废矿物油、废弃包装、废油桶、含油抹布和生活垃圾等。其中废包装物、解理、金属粉尘、纯水制备耗材收集后外售；废光刻胶、废显影液、废有机溶剂、废活性炭、废酸、废碱、含（金、钛、铜）废液、沉淀池污泥、废矿物油、废弃包装、废油桶、含油抹布统一收集后暂存于危废暂存间，定期委托处理处置，不合格品定期委托****公司处理处置。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、原环评中，设置4台椭偏仪，8台光刻机，5台HMDS预处理系统等设备 2、原环评中，设置10台自动划片机，10台自动裂片机，9台数字万用表等设备 3、原环评中，使用醋酸（≥99.5%）、漂洗液RER600，显影液HTR-D2、聚酰亚胺（50%~70%)、硫化铵、五硫化二磷等辅料 4、原环评中，租赁园区已建成甲类库（8间）	1、实际建设过程中，设置1台椭偏仪，6台光刻机，2台HMDS预处理系统，设备均有所减少 2、实际建设过程中，设置12台自动划片机，12台自动裂片机，20台数字万用表等设备均有所增加 3、实际建设过程中，取消使用醋酸（≥99.5%）、漂洗液RER600，显影液HTR-D2、聚酰亚胺（50%~70%)、硫化铵、五硫化二磷等辅料 4、****园区已建成甲类库（6间）
/

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

1.75	1.5348	3.9331	1.45	1.835	0.085
0.875	0.767	2.117	0.725	0.917	0.042
0.088	0.077	0.212	0.073	0.092	0.004
0.0088	0.008	0.0212	0.0073	0.01	0.001
0.263	0.23	0.635	0.218	0.275	0.012
0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	/
0.732	0.0788	2.377	0.034	0.777	0.045	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

严格按照“雨污分流、清污分流”的要求建设排水系统。项目施工期及营运期生活污水经化粪池****处理厂接管标准后与纯水制备产生的浓水****处理厂继续处理。营运期有机废水、含氟废水、碱性废水应分类收集，由专管接入**湾电****处理厂对应预处理单元分质处理，综合废水经**湾电****处理厂处理达****处理厂深度处理。

项目接入**湾电****处理厂废水水质须满足**湾电****处理厂接管废水指标限值及《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）相关指标限值，外排生活污水及纯水制备浓水排放须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）相关标****处理厂接管标准。

已严格按照“雨污分流、清污分流”的要求建设排水系统。项目施工期及营运期生活污水经化粪池****处理厂接管标准后与纯水制备产生的浓水****处理厂继续处理。营运期有机废水、含氟废水、碱性废水应分类收集，由专管接入**湾电****处理厂对应预处理单元分质处理，综合废水经**湾电****处理厂处理达****处理厂深度处理。

验收监测结果表明：验收监测期间，有机废水排口、碱性废水排口检测项目pH值、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮、全盐量浓度均满足**湾电****处理厂接管标准；含氟废水排口检测项目pH值、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮、全盐量、氟化物浓度均满足**湾电****处理厂接管标准；生活污水排口检测项目pH值、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮浓度同时满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）相关标****处理厂接管标准；纯水制备浓水排口检测项目pH值、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮、全盐量浓度同时满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）相关标****处理厂接管标准。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

项目营运期厂房及生产设施应加强密闭，采取有效措施确保无组织废气稳定达标排放。PECVD工艺尾气、ICP工艺尾气废气经“高温燃烧+水洗+碱喷淋塔”装置处理达标后通过一根28米高排气筒排放（DA001）；固化、高温烘烤工序产生的有机废气经“二级活性炭”吸附处理装置处理达标后通过1根30米高排气筒（DA002）排放；光刻、有机溶剂清洗、HMDS预处理、背面减薄等工序产生的有机废气经“二级活性炭”吸附处理装置达标后通过1根28m高排气筒（DA003）排放；酸洗、锌扩散工序产生的酸性废气经碱喷淋塔中和处理达标后通过1根28米高排气筒（DA004）排放；危废暂存间（2-4号）产生的有机废气经“一级活性炭”吸附处理装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA005）排放；危废暂存间（2-1号）产生的酸性废气经“碱喷淋”装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA006）排放。

项目氮氧化物、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气、非甲烷总烃、TVOC、异丙醇、氨气排放须满足《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3、表4相应限值，颗粒物及无组织排放的氮氧化物、氟化物、苯系物排放须满足《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中相关限值，非甲烷总烃无组织排放须满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）表A.1中特别排放限值。

PECVD工艺尾气废气、ICP工艺尾气废气经“高温燃烧+水洗+碱喷淋塔”装置处理达标后通过一根28米高排气筒排放（DA001）；光刻、有机溶剂清洗、HMDS预处理、背面减薄等工序产生的有机废气经“二级活性炭”吸附处理装置达标后通过1根28m高排气筒（DA003）排放；酸洗、锌扩散工序产生的酸性废气经碱喷淋塔中和处理达标后通过1根28米高排气筒（DA004）排放；危废暂存间（2-4号）产生的有机废气经“一级活性炭”吸附处理装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA005）排放；危废暂存间（2-1号）产生的酸性废气经“碱喷淋”装置处理达标后通过1根15米高排气筒（DA006）排放。

验收监测结果表明：验收监测期间，有组织废气中氮氧化物、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氯气、非甲烷总烃、TVOC、苯系物、异丙醇、氨气排放浓度均满足《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表 3相应限值。厂界无组织废气颗粒物、氮氧化物、氟化物、苯系物排放浓度均满足《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3限值；非甲烷总烃、氨、氯化氢、硫酸雾、氨、氯气排放浓度均满足《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表 4相应限值。厂区内无组织废气非甲烷总烃排放浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A中表A.1规定的限值。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

项目营运期应选用低噪声设备，对产生高噪声源的设备通过合理布局、隔声、减振、绿化吸声等降噪措施，确保厂界噪声排放满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

已选用低噪声设备，对产生高噪声源的设备通过合理布局、隔声、减振、绿化吸声等降噪措施。

验收监测结果表明：验收监测期间，厂界4个测点昼间噪声监测值在57.6-.59.1dB(A)，夜间噪声监测值在46.0-49.2dB(A)，能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准限值。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

按“减量化、**化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物特别是危险废物的收集、处置和综合利用措施，严格按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）、《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》（苏环办〔2019〕327号）、《城市生活垃圾管理办法》（建设部令第157号）的要求加强各类固体废物的收集、贮存、转运。施工期、营运期生活垃圾由环卫部门及时清运；危险废物应交有处置资质的单位进行处置并严格按照《危险废物转移管理办法》（部令第23号）进行转移。

实际建设中，本项目（二期工程）产生的固体废物为为废包装物、解理、金属粉尘、纯水制备耗材、废光刻胶、废显影液、废有机溶剂、不合格品、废活性炭、废酸、废碱、含（金、钛、铜）废液、沉淀池污泥、废矿物油、废弃包装、废油桶、含油抹布和生活垃圾等。其中废包装物、解理、金属粉尘、纯水制备耗材收集后外售；废光刻胶、废显影液、废有机溶剂、废活性炭、废酸、废碱、含（金、钛、铜）废液、沉淀池污泥、废矿物油、废弃包装、废油桶、含油抹布统一收集后暂存于危废暂存间，定期委托****处理处置，不合格品定期委托******公司处理处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程