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| 半导体电子测量系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 半导体电子测量系统 |
| 预算金额: | 400.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0204 半导体器件参数测量仪
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| 采购需求概况 : |
****拟采购半导体电子器件测量系统一套,主要采购需求如下:兼容2英寸晶圆测量,真空度低于1E-5pa;电压范围:±100V;电流范围:±100mA;电压测量分辨率:0.5uV;最小电流测量分辨率:1fA;包含CV测试模块,能够检测1kHz至5MHz范围内的多频交流电容测量值,偏置电压范围±25V;脉冲产生和快速测量模块,最小输出脉冲宽度50ns,最小脉冲测量宽度145ns;快速脉冲电压范围:±10V;质保期:3年。
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| 预计采购时间: | 2025-05 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写