开启全网商机
登录/注册
原子层刻蚀（ALE）设备
摘要信息
招标单位
点击查看
招标编号
点击查看
招标估价
8600000.00
招标联系人
点击查看
招标代理机构
点击查看
代理联系人
点击查看
报名截止时间
点击查看
投标截止时间
点击查看
关键信息
点击查看
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
****2025年4至5月政府采购意向-原子层刻蚀（ALE）设备 详细情况
| 原子层刻蚀（ALE）设备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 原子层刻蚀（ALE）设备 |
| 预算金额： | 860.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0204 半导体器件参数测量仪
|
| 采购需求概况 ： |
****拟采购原子层刻蚀设备系统一套，主要采购需求如下：1.腔室：不锈钢/铝材制成；2.真空双腔结构；3.最大可放置直径8英寸晶圆；4.ICP电源+反应区温控系统；5.标配6路液/固体反应物源路+4路气体反应物工艺气路，反应气体可根据材料选配；6.每路液/固体反应物源路配置进口阀、手动阀、温控器，源路配置加热套和吹扫流量计，每路气体反应物配置进口气动阀门及流量计，腐蚀性气路配置防腐流量计；7.等离子体源功率和电压连续可调；8.质保期：1年。
|
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-04-08
招标预告
原子层刻蚀（ALE）设备
当前信息
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
