晶圆转移系统

发布时间: 2025年04月11日
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***********公司企业信息
****2025年5至8月政府采购意向-晶圆转移系统 详细情况
晶圆转移系统
项目所在采购意向: ****2025年5至8月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 晶圆转移系统
预算金额: 200.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0699 其他试验仪器及装置
采购需求概况 :
****拟采购晶圆转移系统一套,要求:1、配备超高真空转移腔体,腔体气压、湿度可控;2、配备涡旋干泵和真空分子泵;微型精密真空计;电磁截止阀;真空度能达到 5E-7mbar;3、样品温度0-100℃升降温可控,温度偏差小于 0.2℃;4、全自动转移系统,能实现一键操作;5、转移破损率小于 1%。质保期:1年。
预计采购时间: 2025-05
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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