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| 晶圆转移系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年5至8月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 晶圆转移系统 |
| 预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0699 其他试验仪器及装置
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| 采购需求概况 : |
****拟采购晶圆转移系统一套,要求:1、配备超高真空转移腔体,腔体气压、湿度可控;2、配备涡旋干泵和真空分子泵;微型精密真空计;电磁截止阀;真空度能达到 5E-7mbar;3、样品温度0-100℃升降温可控,温度偏差小于 0.2℃;4、全自动转移系统,能实现一键操作;5、转移破损率小于 1%。质保期:1年。
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| 预计采购时间: | 2025-05 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写