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多腔体电子束镀膜机
招标详情
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***********公司企业信息
****2025年4至12月政府采购意向-多腔体电子束镀膜机 详细情况
| 多腔体电子束镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 多腔体电子束镀膜机 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他仪器仪表
|
| 采购需求概况 ： |
1、沉积腔的极限真空达到1e-9torr或更高；2、沉积薄膜批内和批间的均匀性达到±3%@4英寸或更优；3、三腔体结构：loadlock、镀膜、刻蚀腔；4、配备刻蚀等离子源及腔体，刻蚀均匀性±3%；5、支持8英寸基片蒸镀，采用低温镀膜技术
|
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-12-02
2025-11-27
2025-11-05
2025-11-03
2025-10-24
招标公告
多腔体电子束镀膜机采购项目
2025-04-14
招标预告
多腔体电子束镀膜机
当前信息
2025-03-12
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