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等离子增强化学气相沉积
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zycgr240****12025年4至10月政府采购意向-等离子增强化学气相沉积 详细情况
| 等离子增强化学气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240****12025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1501 |
| 采购项目名称： | 等离子增强化学气相沉积 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2002电气物理设备
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| 采购需求概况 ： |
1台 工艺腔基座：AlN陶瓷加热器； 腔体温度：最高可达550℃； 高频电源功率：≥ 1500W； 低频电源功率：≥ 1500W； 工艺腔本底真空：≤ 20 mTorr； 工艺腔体漏率：≤ 5 mTorr/min； 工艺气体：N2, He, SiH4, NH3，O2
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| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025-04-16
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