关于拟采购真空镀膜机设备进口产品的专家论证意见公示

关于拟采购真空镀膜机设备进口产品的专家论证意见公示

一、项目信息

采购人：****

项目名称：真空镀膜机设备

预算金额：****000元

拟采购进口产品的说明：我校拟采购的真空镀膜机设备，主要用于在特定基板上蒸发沉积金属薄膜、有机薄膜、非金属薄膜以达到改善材料性能、保护材料表面和实现其他功能的目的，可用于制备新型显示照明、半导体光电子等器件的电极和其他功能膜层的制备，尤其是微纳加工中高质量超薄（纳米级别）金属薄膜蒸镀，特别是针对难熔金属（如钛）以及金属氧化物的薄膜制备研究。基于科研需要，仪器设备的技术参数要求如下：满足 2 寸 - 8 寸晶圆基板的蒸镀需求且适配公转和行星转。极限真空：≤3×10 Pa，压力上升：≤5×10 Pa﹒m3/s，排气速度：需保证20分钟内到达 3×10Pa；10KW 电子束蒸发源，六穴 40cc 坩埚对称设计，直接水冷，可旋转且防交叉污染，拆卸方便；≤8寸基片镀膜均匀性指标： 公转方式单层 Ti、Ni、Ag 金属镀膜：片内、片间、批次间成膜厚度均匀性均≤±3%； SiO镀膜：片内、片间、批次间成膜厚度均匀性均≤±5%；行星方式镀膜：片内、片间、批次间成膜厚度均匀性均≤±5%。；配置离子源、上位通信。据需求部门调查，目前国产产品无法达到上述真空系统的极限真空度、抽速和抽气效率、镀膜均匀性、设备性能稳定性及成熟的上位通信系统配置等要求，研究无法继续开展，因此需采购进口设备。

二、公示期限

2025年 04 月16 日 - 2025 年 04月 23日。

任何供应商、单位或者个人若对本项目的专家论证意见有异议，可以在公示期内将书面意见向我校反馈。

三、联系方式

地 址：**省**市****城乌**北大道2号********中心

联系电话：0591-****5917

邮箱：fzdxzczx1@fzu.****.cn

附件：专家论证意见表

****

2025年 04月 16 日