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深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
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***********公司企业信息
****玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统 |
| 预算金额（元）: | 9,280,000.000 |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 板级自动旋转式清洗机能够针对大尺寸非圆基板进行清洗，主要对基板表面非有机物颗粒进行清洗去除，达到工艺需求。相比传统基板级清洗设备，该设备能够兼容更大尺寸（515mm×510mm尺寸基板）。多腔全自动匀胶显影机使用于6/8寸晶圆，适配Si、Glass的材质，适应5mm以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和涂胶显影工艺。 |
| 预计采购时间: | 2025-5 |
| 联系人: | 党老师 |
| 联系电话: | 155****6662 |
| 备注: | 无 |
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