深圳大学自动玻璃通孔专用溅镀机意向公开

发布时间: 2025年04月24日
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****自动玻璃通孔专用溅镀机意向公开
采购单位: ****
项目名称: 自动玻璃通孔专用溅镀机
预算金额(元): 7,400,000.000
采购品目: 真空应用设备
采购需求概况: 该溅镀机专用于玻璃通孔(TGV)的金属化工艺,需满足高深宽比(≥10:1)通孔的均匀镀膜要求。设备需支持硅中介层(Interposer)及玻璃基板(510mm×515mm)的溅镀工艺,兼容8英寸晶圆及更大面板级加工需求。需实现多层金属堆叠(如Ti/Cu、Cr/Cu、Ta/Cu等)的连续溅镀,确保薄膜的高附着力、低应力及优异台阶覆盖率(≥80%)。
预计采购时间: 2025-5
联系人: 张老师
联系电话: 176****7241
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2025-04-24
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