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| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 自动玻璃通孔专用溅镀机 |
| 预算金额(元): | 7,400,000.000 |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 该溅镀机专用于玻璃通孔(TGV)的金属化工艺,需满足高深宽比(≥10:1)通孔的均匀镀膜要求。设备需支持硅中介层(Interposer)及玻璃基板(510mm×515mm)的溅镀工艺,兼容8英寸晶圆及更大面板级加工需求。需实现多层金属堆叠(如Ti/Cu、Cr/Cu、Ta/Cu等)的连续溅镀,确保薄膜的高附着力、低应力及优异台阶覆盖率(≥80%)。 |
| 预计采购时间: | 2025-5 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | 176****7241 |
| 备注: | 无 |