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关于微纳加工中心工艺设备安装配套系统的更正公告

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广东 -深圳

发布时间： 2025年04月24日

摘要信息

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加工中心工艺设备安装公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

一、项目基本情况

采购项目编号：****

采购项目名称：****中心工艺设备安装配套系统

首次公告日期：2025年04月17日

二、更正信息

1、更正事项：“招标文件”的第二章招标项目需求：

五、具体技术要求：

序号	货物名称	配置和技术规格要求
18	DRIE安装配套系统	18.****.▲投标人在投标时提供DRIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、C4F8管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、SiF4管道平面布置图。
19	RIE安装配套系统	19.5.▲投标人在投标时提供RIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图。
20	ICP介质安装配套系统	20.5.▲投标人在投标时提供ICP介质安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、C4F8管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、Cl2管道平面布置图。
21	ICP金属安装配套系统	21.****.▲投标人在投标时提供ICP金属安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、Cl2管道平面布置图、BCl3管道平面布置图。
22	ICPIII-V安装配套系统	22.5.▲投标人在投标时提供ICP III-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、CH4管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、H2管道平面布置图、Cl2管道平面布置图、BCl3管道平面布置图、SiCl4管道平面布置图。
25	ICPCVD 安装配套系统	25.5.▲投标人在投标时提供ICP III-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH3管道平面布置图、SiH4管道平面布置图、CH4管道平面布置图、CF4管道平面布置图、He管道平面布置图、H2管道平面布置图。
26	PECVD 安装配套系统	26.5 ▲提供PECVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH3管道平面布置图、SiH4管道平面布置图、N2O管道平面布置图、CF4管道平面布置图。
71	气体管道安装测试要求	71.1★投标人在投标时，****公司公章的气体管道测试承诺函，承诺管道安装完成后按招标人要求进行五项测试，包括压力测试、氦气检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试。测试项目标准如下： 1) 压力测试：强度试验压力为设计压力的1.15倍，持续30分钟；气密性试验压力为设计压力的1.05倍，24小时内压降≤1%。 2) 氦气检漏测试：使用质谱型氦检测仪，精度≥1×10-10 mbar.L/s；漏率≤1×10-9 mbar﹒L/s。 3) 颗粒测试：颗粒数：≥0.1~0.3μm的颗粒≤35颗粒/m3，连续三次达标。 4) 水分测试：测试气源水分<1ppbv；水分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。 5) 氧分测试：测试气源氧分<1ppbv；氧分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。

更正为：

五、具体技术要求：

序号	货物名称	配置和技术规格要求
18	DRIE安装配套系统	18.****.▲投标人在投标时提供DRIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、C4F8管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、SiF4管道平面布置图。
19	RIE安装配套系统	▲投标人在投标时提供RIE安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图。
20	ICP介质安装配套系统	▲投标人在投标时提供ICP介质安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、C4F8管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、Cl2管道平面布置图。
21	ICP金属安装配套系统	▲投标人在投标时提供ICP金属安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、CF4管道平面布置图、CHF3管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、Cl2管道平面布置图、BCl3管道平面布置图。
22	ICPIII-V安装配套系统	22.5.▲投标人在投标时提供ICP III-V安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、CH4管道平面布置图、HBr管道平面布置图、He管道平面布置图、SF6管道平面布置图、H2管道平面布置图、Cl2管道平面布置图、BCl3管道平面布置图、SiCl4管道平面布置图。
25	ICPCVD 安装配套系统	25.5.▲投标人在投标时提供ICPCVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、氩气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH3管道平面布置图、SiH4管道平面布置图、CH4管道平面布置图、CF4管道平面布置图、He管道平面布置图、H2管道平面布置图。
26	PECVD 安装配套系统	26.5 ▲提供PECVD安装配套系统的电力系统图、排风管道平面布置图、Pumpline平面布置图、循环冷却水平面布置图、机械泵循环冷却水平面布置图、压缩空气管道平面布置图、氮气管道平面布置图、氧气管道平面布置图、高纯氮气管道平面布置图、NH3管道平面布置图、SiH4管道平面布置图、N2O管道平面布置图、CF4管道平面布置图。
71	气体管道安装测试要求	71.1★投标人在投标时，****公司公章的气体管道测试承诺函，承诺管道安装完成后按招标人要求进行五项测试，包括压力测试、氦气检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试。测试项目标准如下： 6) 压力测试：强度试验压力为设计压力的1.15倍，持续30分钟；气密性试验压力为设计压力的1.05倍，24小时内压降≤1%。 7) 氦气检漏测试：使用质谱型氦检测仪，精度≥1×10-10 mbar.L/s；漏率≤1×10-9 mbar﹒L/s。 8) 颗粒测试：颗粒数：0.1~0.3μm的颗粒≤35颗/m3，连续三次达标。 9) 水分测试：测试气源水分<1ppbv；水分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。 10) 氧分测试：测试气源氧分<1ppbv；氧分增量<20ppbv，稳定20分钟以上。