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化学机械抛光机
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***********公司企业信息
****2025年5月政府采购意向-化学机械抛光机 详细情况
| 化学机械抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 化学机械抛光机 |
| 预算金额： | 430.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0200木工机床
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| 采购需求概况 ： |
拟采购一台化学机械抛光机对玻璃、硅等表面进行精细研磨。要求四研磨头三研磨台设计，满足IC制造中所有复杂平坦化工艺需求，如:STI, ILD,contactor,metalline等平坦化。适用于主流的氧化物，氮化物，硅，以及金属铜，钨的平坦化处理，并能对高级封装领域用到的材料进行平坦化工艺，如聚合物等。支持特殊产品的平坦化工艺，如BCD，IGBT，5G芯片制造中的平坦化工艺。
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| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： |
设备采购及使用负责人：臧法珩。
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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