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| 金属有机化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 金属有机化学气相沉积系统 |
| 预算金额: | 998.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0904增材制造设备
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| 采购需求概况 : |
生长速率不低于20 nm/h;外延薄膜厚度可达100 nm;外延材料表面粗糙度≤ 5 nm;具备生长载流子浓度≤5*E16cm-3材料能力;具备生长霍尔迁移率≥50 cm2/Vs材料能力;具备生长X射线衍射半高宽≤100 arcsecs材料能力
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| 预计采购时间: | 2025-10 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写