大型多重高精度镀膜系统及配套设施

发布时间: 2025年05月06日
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****2025年10月政府采购意向-大型多重高精度镀膜系统及配套设施 详细情况
大型多重高精度镀膜系统及配套设施
项目所在采购意向: ****2025年10月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 大型多重高精度镀膜系统及配套设施
预算金额: 1700.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0910金属表面处理设备
采购需求概况 :
1 高温超导带材缓冲层精准镀膜机 (1) 电源:直流/射频/中频/脉冲直流电源 (2) 功率:最大5kW (3) 靶形式:圆靶或矩形靶,单靶、多靶、孪生靶可选 (4) 真空室尺寸:可定制 (5) 真空系统:机械泵+分子泵(真空泵组可选) (6) 极限真空:5×10-5 Pa (7) 烘烤温度:最高400℃,PID 可调可控 (8) 基片台:水冷或加热可选,最高1000℃ 2 离子束辅助精确沉积镀膜机 (1) 溅射源:矩形射频离子源 (2) 辅助源:矩形射频离子源 (3) 规格:6×22cm 或6×66cm 可选 (4) 束流能量:100 至1500eV (5) 真空室尺寸:定制 (6) 真空系统:机械泵+低温泵(或钛升华泵、溅射离子泵) (7) 极限真空:5×10-7 Pa (8) 烘烤温度:最高400℃,PID 可调可控 (9) 可配置RHEED
预计采购时间: 2025-10
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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