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| 1 | 电子束原位沉积仪 | 电子束原位沉积仪1台,用于航空航天的新材料成型机理、原位沉积成型技术研究,要求加速电压:可调节工作范围不小于 50~70KVmax,且连续可调;网压380V±10%,任意沉积功率时,加速电压稳定度≤±0.3%。电子束流:0.1~100mA,最小束流调节精度0.1 mA;任意沉积功率时,束流稳定度≤±0.3%。 | ****000.00 | 2025-06 |