福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目

发布时间: 2025年05月16日
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****2025年05月至2025年06月政府采购意向-****喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目 详细情况
****喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目
项目所在采购意向: ****2025年05月至2025年06月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: ****喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目
预算金额: 149.000000万元(人民币)
采购品目:
采购需求概况 :
采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0000台 主要功能或目标:喷涂式光刻胶涂覆机实现高精度均匀涂胶,突破异形基板图形化瓶颈;激光扫描共聚焦显微镜通过三维检测,精准分析膜厚与缺陷形貌;超硬晶圆激光切割机以高能激光高效切割硬脆材料,降低崩边率;Micro-LED自动光学检测AOI设备结合高分辨率成像与AI算法,快速筛查微米级缺陷,提升检测效率;喷淋式晶圆清洗机无损伤去除微粒及残留,保障芯片洁净度。 需满足的要求:喷涂式光刻胶涂覆机需满足可进行超声波雾化喷涂等要求;激光扫描共聚焦显微镜需满足扫描视野≥22mm等要求;超硬晶圆激光切割机需满足崩边不大于5微米等要求;Micro-LED自动光学检测AOI设备需满足有恒温载台,保证检测结果稳定性等要求;喷淋式晶圆清洗机需满足清洗溶剂:去离子水、酸性溶液、碱性溶液、有机溶剂(丙酮、异丙醇)等要求。
预计采购时间: 2025-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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