立式炉管采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：立式炉管

（三）项目内容及需求：

1、 数量：1套。

2、 交期：按照项目进度需求。

3、 技术要求：

（1）2个及以上SMIF全自动上下货，用于8寸晶圆的聚酰亚胺固化

（2）工作温度范围：150℃-600℃

（3）温度控制精度：（250℃-350℃）≤1℃，（350℃-600℃）≤0.5℃

（4）区间温度均匀性≤2%（MAX-MIN）/MEAN/2

（5）工艺气体：氮气、氧气

（6）升降温速率：降温速率≥2℃/min（所有温区），升温速率≥4℃/min

（7）装载量≥150片/炉，极限真空≤10pa

（8）新增颗粒数≤****@0.2um，大颗粒增量小于10个@1.0um

（9）具备各参数监控及记录报警功能（实时监控）

（10）具备UPS,在设备异常原因断电时能够支持机台进行数据保存或备份等

（11）支持SECS/GEM，具有MES/EAP通讯接入功能

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

以上证明资料统一发至****@guide-infrared.com，并抄送至审计邮箱****@guide-infrared.com。****公司名称及项目名称。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家，不接受项目授权证书，公司注册资金≥200万。

2、本次招标不接受联合体投标。

3、****事业单位必须具备相应资质的质量保证能力。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）截止时间：2025-5-23 12:00标书代写

（二）地点：****开发区****路6号

四、联系事项

商务联系人：翟智鹏 电话：139****1735

技术联系人：詹重豪 电话：130****9237

电话：027-****8317

邮箱：****@guide-infrared.com

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