高真空磁控离子溅射仪

发布时间: 2025年05月19日
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申购单主题: 高真空磁控离子溅射仪 申购单位: **** 报价类型: 国内含税价
使用币种: 人民币 公示时间: 2025-05-16 18:08:26
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商品名称 品牌厂商 型号 数量 售后服务
高真空磁控离子溅射仪 格微 GVC-2000TE 1 保证竞价商品为原封正品 出现技术问题需在36小时内响应解决
规格
1. 溅射组件:采用平面磁控溅射靶头,直流磁控溅射电源作为高压源,无热损失;
2. 操作界面:7英寸彩色触摸屏,中文或本地化语言操作界面,全数字显示;
3. 工作电流:2-200mA连续可调,最小步长为1mA;
4. 工作时长:1-999s连续可调,最小步长为1s;
5. 溅射靶材:直径φ57mm,可溅射金、铂、铬、铝四种靶材;
6. 真空室:采用高透光性的高硅硼玻璃,尺寸约为φ181(I.D.)×130(H)mm;
7. 最大样品尺寸:直径为φ125mm;
8. 真空系统:极限真空优于5E-3Pa,工作真空0.3-2Pa;
9. 操作模式:一键操作
10. 预溅射:具备全自动预溅射挡板
11. 安全保护:具备溅射电流和真空度双重互锁
12. 图形化显示:具备实时曲线显示溅射电流和真空度功能
13. 靶材更换:采用独特的靶材更换结构,无需工具,即可实现快速更换靶材;
14. 信息提示:具备三色状态指示灯
15. 膜厚监控模块:设定范围1-999nm,设定精度0.1nm,显示精度0.01nm。
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2025-05-19
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