射频电源和真空等离子体系统打包采购成交公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

****

型号

定制

生产厂商

****

产地信息

**

技术规格及参数

1、电压范围：220VAC±20％，3线，带地线（PE）。
2、频率范围：47Hz~53Hz
3、输入电流：5.3A
4、浪涌电流：冷启动40A；
5、功率因数：PF≥0.95（最大功率输出时）；
6、效率：≥70％（输出功率大于100W，并且负载为标准50欧姆时）；
7、输出频率：13.56MHz±50ppm
8、功率：最小功率5W，最大功率600W，连续可调；
9、最大反射功率：100W,如果反射功率大于100W，射频电源会降低输出，保持发射不大于100W；

质保期

1.产品质保2年，质保期内维修免费（人为损坏因素除外），质保期以外设备的维护，只收取成本费。
2.生产厂家售后服务承诺书详见附件。
3.所响应产品是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）。

售后要求

****公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，2小时内予以响应， 4小时内提出解决措施，或远程协助解决，重大问题48小时内到达买方现场，排除故障。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

****

型号

定制

生产厂商

****

产地信息

**

技术规格及参数

1、真空腔室：尺寸φ500×H420mm,材质SUS304优质不锈钢，圆柱形、前开门结构；
2、基片台：尺寸φ150mm， 0～20转/分钟旋转可调可控，加热至500℃可调可控，基片台带有绝缘设计，可加负偏压，配气动挡板；
3、平面靶：3套3英寸平面靶，靶角度、靶基距免拆卸手动可调，靶管带有刻度，每个靶带独立气动挡板；
4、真空系统：采用复合分子泵（1200L/S）+直联高速旋片式真空泵(9L/S)+高真空阀门+数显复合真空计；
5、气路：Ar，100sccm；N2，50sccm；O2，20sccm；配混气管和截止阀；
6、水路和空压：配制冷量5.17KW冷水机（AC-2）；配最大排气量115L/min空压机（DA5001）；
7、自动恒压系：薄膜规（CDG025D）+电机驱动控制阀(DN200)+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定；
8、电气控制：PLC+触摸屏半自动控制系统；
9、机架：机架和控制柜一体化设计，碳钢制作，表面喷塑处理，配脚轮。
10、靶材：铂99.99%，φ76.2×2mm，1块；铜，φ76.2×3mm，1块；镍99.995%，φ76.2×2mm，1块；铬99.95% ，φ76.2×5mm，1块；镍铬合金（镍90:铬10），φ76.2*5mm，1块；

质保期

1.产品质保2年，质保期内维修免费（人为损坏因素除外），质保期以外设备的维护，只收取成本费。
2.生产厂家售后服务承诺书详见附件。
3.所响应产品是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）。

售后要求

****公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，2小时内予以响应， 4小时内提出解决措施，或远程协助解决，重大问题48小时内到达买方现场，排除故障。