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双靶离子溅射仪

公告-招标公告

广东

发布时间： 2025年05月19日

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溅射

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申购单主题：	双靶离子溅射仪	申购单位：	****	报价类型：	国内含税价
使用币种：	人民币	公示时间：	2025-05-19 09:20:44
申购备注：

商品名称品牌厂商型号数量售后服务

双靶离子溅射仪

速普/Supro

速普J20

质保：1.5年，报修承诺：48小时内到达现场；免费仪器保养：6月1次；保内维修承诺：免费维修更换零件

规格

1. 真空泵：旋片真空泵 2. 抽速：≥4m3/h（130L/min） 3. 极限真空：＜1 Pa 4. 工作气压：4-10 Pa，可恒压控制 5. 抽真空时间：＜2min 6. 真空计：皮拉尼真空计 7. 腔体：~Φ 135 *120 mm 8. 数显样品台：Φ75mm可偏转数显行星样品台，旋转转速：10-60RPM可调，偏转角度：0- 40度可调，靶基距45-60mm可调 8. 溅射靶材：靶材尺寸 Φ 30 0.2mm/2只（Pt靶和Au靶各2个，纯度99.99%），可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替溅射功能 9.溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ，Max. 100 mA，0-800 V DC 10.操作方式：触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能 11.冷却方式：风冷 12.油泵润滑油2瓶