8寸多靶材共焦溅射系统采购信息公示

发布时间: 2025年05月19日
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一、项目概况

(一)项目编号:****

(二)项目名称:8寸多靶材共焦溅射系统

二、项目内容及需求:

1、需求数量:1套

2、需求时间:2025-10-15前

3、技术要求:

(1)单腔多靶材,支持共焦溅射,四个及以上4英寸磁控溅射靶枪,其中需要带一个可溅射磁性靶材的靶枪;

(2)多片进样室,一次可支持多片作业,支持8寸晶圆作业;

(3)2个以上直流电源,一个射频电源做偏压预清洗和溅射切换使用,可直接溅射金属氧化物,或者反应溅射金属氧化物;

(4)工作台为水冷工作台,气路常规3条(Ar、N2、O2);

(5)支持EAP通讯SECSⅡ/GEM,需配合我司信息化部进行调试,免费支持连接MES系统。

三、资格要求:

(一)必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件:

1、具有独立承担民事责任的能力;

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

5、法律、行政法规规定的其他条件;

6、需提供参加本项目投标活动前三年内,在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明;

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”(www.****.cn )政府采购严重违法失信行为记录名单,提供网上查询结果记录(查询日期在发布公告之后),截图打印。

(二)特定资格要求:

1、投标人应具备独立的法人资格,具有国家相关部门颁发的营业执照,并出具相关证明,注册资金≥250万元;

2、投标人如是代理商需提供授权代理证;

3、投标人需提供近2年内同类产品客户清单,至少提供1份合同证明;

4、投标人授权报名代表仅限一人,若出现多人报名则取消投标人投标资格;

5、投标人报名资料中需有法人授权委托书原件及被委托人6个月社保证明,并注明授权代表及其联系方式、邮箱等;

6、投标人未按规定时间递交PDF电子档资料到指定邮箱则视为报名无效;

7、本次招标不接受联合体投标。

四、供应商报名资料递交截止时间和报名方式标书代写

(一)截止时间:2025-05-26 12:00标书代写

(二)报名方式:扫描下方二维码登记报名后将报名资料(报名资料包括:特定资格要求、投标人营业执照、“信用中国”查询无不良记录截图、合同证明、授权委托书)盖章扫描发送至以下邮箱:****@gst-ir.com,并抄送至审计邮箱****@guide-infrared.com。

五、联系事项

联系人:杨鑫 电话:139****9905

六、 监督、投诉渠道
1、审计监察部:

电话:027-****8317

邮箱:****@guide-infrared.com

网络举报二维码:

2、党委办公室:

电话:027-****8226

邮箱:****@163.com

网络举报二维码 :

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