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电子科技大学 - 竞价公告（CB106142025000047）

公告-招标公告

四川 -成都

发布时间： 2025年05月20日

标书代写官方

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电子科技大学公告

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2025-05-20 16:06:03 截止时间：2025-05-23 16:14:28标书代写

申购主题： SG202****587001BMS450B型超高真空磁控溅射镀膜设备

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式： 1. 第一期付款：签订合同后且甲方收到符合财务要求的相关票据后付款至总合同的60%； 2.第二期付款：设备安装完毕后，软硬件调试验收合格且收到符合财务要求的相关票据后付款至总合同金额100%

收货地址： **省/**市/**区/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间：合同签订后120天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算： 498000.0人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

SG202****587001BMS450B型超高真空磁控溅射镀膜设备

1.0/

498000.0

SKYVAC

非标

真空室底板上有4个2″磁控靶安装接口。真空室上有CF100观察窗；真空室有CF200法兰用于联接真空系统，有全套真空规（CF35法兰接口）用于测量真空。在真空室壁上还要有旁抽阀连接口一个，工作气体截止阀接口一个，充气阀联接口一个，真空测量规安装口三个，照明灯接口一个及若干备用口，CF16工作气体和干燥氮气充气口是由2路质量流量计和1路充气气路汇合到1个CF16真空截止阀；溅射镀膜室采用FF-200/1200C分子泵+**爱发科机械泵，极限真空优于 6X10-6Pa，停机24小时后1Pa；系统漏率：≤1.3×10-8Pa﹒L/S，****大学产DL-710数显复合真空计+DL-5真空计；基片转动，转速为2～20转/分范围内连续可调；样品加热温度为室温到760℃；样品到靶的距离在100-140mm范围内连续可调；可以加-5~-200伏的负偏压；磁控靶:4个，（进口产品），Φ2″磁控靶，靶水冷，射频和直流兼容；镀膜室采用外烘烤+内烘烤，设置室内照明；充气气路：在镀膜室上有2路通过质量流量计的进气气路，实现进气控制，另外有1路充氮气气路。3路气体均通过1个CF16超高真空截止阀，向镀膜室进气；真空室及泵系统等安装在1个工作台架上，工作台架由型钢焊接而成，台架上碳钢托板，上面罩不锈钢板。台架四周为碳钢围板，围板及台架均烤防锈漆及喷塑处理，整个台架外形美观，布局合理；系统配有5KW冷水机冷却系统，以便对磁控靶、分子泵等进行冷却。在水路上安装有水压报警保护装置，在系统缺水或水压不足的情况下发出警告铃声并及时切断相关电源，以避免损坏设备。水压1~2公斤/平

按行业标准提供服务