等离子体处理机（X2025016）询价采购公告

一、询价采购编号：****

二、询价人：****

地址：**省**市东环路50号**楼904室

邮编：215021 传真：0512-****5076

联系人：丁老师 电话：0512-****4198，****4359

电子邮箱：dingy@suda.****.cn

技术联系人：朱老师 电话：131****2094

电子邮箱：zhujuan@suda.****.cn

三、设备名称、数量及主要技术指标等要求

等离子体处理机 1套

（一）主要性能指标和配置要求

1．自动和手动控制模式，处理中可随时更改状态参数。

2．可视化操作界面，通过触摸液晶屏进行工艺程序存储，等离子体处理功率，等离子体处理时间，压力，流量，流量比(气体混合物)，泵停机时间，供气时间，通风时间等操作。该系统允许在过程结束时自动排气或保持在真空。

3．可设定等离子功率40kHz(0-300W）可调、真空压力、气体流量、气体混合比例、通气时间、破真空时间等参数。

4．极限真空度优于5E-3mbar。

5．1路MFC数字流量计，精度±2%，重复性±0.25%。可通入O2、Ar、N2、H2、CO2、Air等非腐蚀气体，可控制通气流量和通气时间。

6．压力互锁功能，抽真空压力0.4mba以下，其他工艺功能才能启动。

7．射频发生器，40kHz，0-300W连续可调

8．腔体材料：不锈钢；腔体体积≥10L

9．可移动式托盘，可同时容纳多个样品进行处理。

10．带观察窗，实时观测腔体动态。装载门报警开关：门闭合不到位、漏气等进行报警。

11．真空泵与设备联动控制，由等离子设备控制启停。

（二）质保期不少于1年

四、报价截止时间：2025年5月28日14：00。标书代写

五、询价采购文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。

六、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读《**大学网上询价采购仪器设备报价须知》，在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。

七、报价文件递交：顺丰快递邮寄（请充分考虑快递送达时间，避免错过时间）。标书代写

附件：标书费缴纳说明(****0306）.pdf

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询价采购编号：****

成交供应商：