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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 备注 |
| wh logic power supply | 其他物资 | 1.0个 | 1.0个 | 硅片传输系统逻辑电源 |
| motion 5-6 | 其他物资 | 1.0个 | 1.0个 | 硅片传输系统控制电路(第五、第六路)) |
| wafertable special thinversion | 其他物资 | 1.0个 | 1.0个 | 硅片载台:薄加工特别版 |
| table clean tool | 其他物资 | 1.0套 | 1.0套 | 硅片载台清洗工具 |
| 设备漏水检测系统 | 其他物资 | 1.0套 | 1.0套 |