成都高新区生态环境和城市管理局关于2025年5月27日拟对成都路维光电科技有限公司成都路维光电科技特殊掩膜版产品研制项目环境影响评价文件作出审批意见的公示

序号

项目

名称

建设

地点

建设

单位

环境影响

评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众参与情况

建设单位作出的相关环境保护措施 承诺文件

1

**路维光电科技特殊掩膜版产品研制项目

**高新区康强三路1666号

****

**中环康源****公司

目前****已经掌握了300nm/250nm/180nm节点镀铬类半导体掩膜版制造技术以及先进半导体芯片封装用掩膜版制造等核心技术，为了紧跟行业发展趋势，突破特殊类型半导体掩膜版制造中的关键技术，丰富公司在掩膜版领域的产品类型和生产能力，****投资600万元新增7台（1台蚀刻机及其他6台辅助设备）设备，同时依托现有工程的光刻机、清洗机、贴膜机、烘干机等等设备，在现有工程车间扩建“**路维光电科技特殊掩膜版产品研制项目”，用于研发制造无铬掩膜版、镀铝掩膜版、光栅掩膜版等，产量合计120片。该项目为研发性质的生产。

一、施工期

废气

本项目施工期主要为厂房内部设备安装，不涉及土建和装修，主要废气为运输车辆的汽车尾气，运输汽车少，本项目采用合格车辆运输，故汽车尾气排放对周围环境影响很小。

废水

项目设备安装人员人员生活污水经现有预处理池处理后，排放至市政污水管网进****处理厂。

固体废物

废包装****收购站。施工期生活垃圾经收集后交环卫部门统一收集处理。

采取以上防治措施之后，施工期间固体废物均可以得到合理处置，不会对环境造成大的影响。施工期完成后，可消除固废对环境的影响。

噪声

本项目施工期噪声主要为设备安装噪声和运输车辆噪声。为降低项目施工期噪声对周边环境的影响，本项目施工期采取以下措施：

①提倡文明施工，建立健全控制人为噪声的管理制度，增强全体施工人员防噪声扰民的自觉意识。

②施工时采用降噪作业方式。严格按操作规程使用各类机械，对动力机械设备进行定期的维修、养护，避免设备因松动部件的振动或消声器的损坏而增加其工作时的声压级；设备用完后或不用时应立即关闭。

③加强施工噪声管理，在不影响施工的前提下，尽量将对高噪声的机械设备采用降噪措施。同时加强高噪声设备的维修管理，保证其正常运行，减少设备在非正常运行时所产生的噪声。加强车辆管理，控制车辆噪声，减轻交通噪声对周边环境的影响。

④制订科学的施工计划，如有特殊需要必须连续作业的，应报建设局批准，办理《夜间施工许可证》，在高噪作业前及连续施工时及时公告施工时间，并合理安排作业时间，尽量缩短施工周期。

二、运行期

1、废气

本项目营运期废气主要为显影废气、脱模废气和刻蚀废气。

显影废气和脱模废气依托现有工程的废气处理措施（废气洗涤塔，TA001）处理。现有工程显影废气采用碱喷淋的处理措施，处理后经1根25m高排气筒（DA001）排放。

刻蚀废气主要为氯气、氟化物、有机废气，经**1个洗涤塔（TA002）处理，处理后氯气、氟化物排放满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 二级标准，有机废气排放满足《**省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》（DB51/2377-2017），经1根25m高排气筒（DA002）排放。

2、废水

本项目不新增员工。生产****公司已建酸碱废水处****处理站），处理能力180t/d，采用“酸碱中和+化学氧化”工艺。处理后排入******处理厂。

3、噪声

选用低噪声设备，并对产噪设备进行基座消声减振、建筑隔声等降噪措施；对运行设备做到勤检修、多维护；加强管理、教育，文明操作；合理安排时间；合理进行总平布置，并利用建筑物进行隔声。

4、固废

本项目不新增员工。

废显影液、废酸洗液、废碱洗液为危险固废，暂存在现有工程的危废暂存间，然后交有资质单位处理；包装固废主要为废纸箱等，****中心。

/

/