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高端半导体装备研发项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0302MA01MRG182 | 建设单位法人：景璀 |
| 李志新 | 建设单位所在行政区划：****开发区 |
| 北****开发区科谷四街1号院13号楼1至6层 |
建设项目基本信息
| 高端半导体装备研发项目 | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别（国民经济代码）：M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点： | **市**区 北****开发区科谷四街1号院13号楼1至6层 |
| 经度:116.58037 纬度: 39.7807 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2023-05-29 |
| 经环保审字〔2023〕0053号 | 本工程排污许可证编号：无 |
| 项目实际总投资(万元)： | 42131.47 |
| 600 | 运营单位名称：**** |
| ****0302MA01MRG182 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| ****0302MA01MRG182 | 验收监测单位：壹检（北****公司 |
| ****0400MACB8M0Y0H | 竣工时间：2025-03-04 |
| 调试结束时间： | |
| 2025-05-19 | 验收报告公开结束时间：2025-05-28 |
| 验收报告公开载体： | https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=426166 |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年开展集成电路制造装备整机智能化研发50次、下一代亚纳米级集成式表面处理工艺设备研发（等离子辅助抛光50次、离子束抛光50次、等离子体清洗50次）、复合增效电化学机械抛光设备及成套工艺研发50次、新型研磨液及研磨介质研发50次。 | 实际建设情况：年开展集成电路制造装备整机智能化研发50次、下一代亚纳米级集成式表面处理工艺设备研发（等离子辅助抛光50次、离子束抛光50次、等离子体清洗50次）、复合增效电化学机械抛光设备及成套工艺研发50次、新型研磨液及研磨介质研发50次。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 1、集成电路制造装备整机智能化研发 2、下一代亚纳米级集成式表面处理工艺设备研发（等离子辅助抛光、离子束抛光、等离子体清洗） 3、复合增效电化学机械抛光设备及成套工艺研发 4、新型研磨液及研磨介质研发 | 实际建设情况：1、集成电路制造装备整机智能化研发 2、下一代亚纳米级集成式表面处理工艺设备研发（等离子辅助抛光、离子束抛光、等离子体清洗） 3、复合增效电化学机械抛光设备及成套工艺研发 4、新型研磨液及研磨介质研发 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 废气：含氨废气经碱性喷淋塔处理系统处理后通过36米高DA001排气筒达标排放；有机废气经活性炭吸附处理系统处理后通过36米高DA002排气筒达标排放；含酸废气经酸性喷淋塔处理系统处理后通过36米高DA003排气筒达标排放； 废水：研磨废水、碱性废水、管道清洗废水、抛光废水、酸性废水、有机废水、复合增效电化学机械抛光设备研发SRD区域冲洗废水、下一代工艺设备研发SRD区域冲洗废水、下一代工艺设备研发Cleaner区域冲洗废水、纯水制备浓水经自建废水处理设施处理后通过市政管网进入****集团****处理厂统一处理；****园区化粪池处理后通过市政污水管网进入****集团****处理厂统一处理； 噪声：设备均位于室内、选用低噪声设备、基础减振、墙体隔声； 固废：废活性炭、废滤棉、含氨水、异丙醇等包装废弃物、喷淋塔底泥等收集于危废暂存间内，委托**鑫兴众成****公司处理；纯水制备产生的废过滤芯、废离子交换树脂、废RO膜、包装废弃物收集于一般固废暂存区进行存放，****回收部门回收处置；生活垃****园区环卫部门收集、清运、处置。 | 实际建设情况：废气：含氨废气经碱性废气处理系统处理后通过36米高DA001排气筒达标排放；有机废气经活性炭吸附处理系统处理后通过36米高DA002排气筒达标排放；含酸废气经酸性废气处理系统处理后通过36米高DA003排气筒达标排放； 废水：研磨废水、碱性废水、管道清洗废水、抛光废水、酸性废水、有机废水、复合增效电化学机械抛光设备研发SRD区域冲洗废水、下一代工艺设备研发SRD区域冲洗废水、下一代工艺设备研发Cleaner区域冲洗废水经自建废水处理设施处理后通过市政管网进入****集团****处理厂统一处理；生活污水、****园区化粪池处理后通过市政污水管网进入****集团****处理厂统一处理； 噪声：设备均位于室内、选用低噪声设备、基础减振、墙体隔声； 固废：废活性炭、废滤棉、含氨水、异丙醇等包装废弃物、喷淋塔底泥等收集于危废暂存间内，委托**省****中心****公司）处理；纯水制备产生的废过滤芯、废离子交换树脂、废RO膜、包装废弃物收集于一般固废暂存区进行存放，****回收部门回收处置；生活垃****园区环卫部门收集、清运、处置。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
其他
| 无 | 实际建设情况：无 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0.2654 | 0.7726 | 0 | 0 | 0.265 | 0.265 | |
| 0 | 0.0597 | 0.0966 | 0 | 0 | 0.06 | 0.06 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0019 | 0.0253 | 0 | 0 | 0.002 | 0.002 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 废水治理措施 | 《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013） | 120t/d | 该项目废水中污染物排放浓度均满足**市《水污染物综合排放标准》（DB1l/307-2013）中“排入公共污水处理系统的水污染物排放限值”，能够实现达标排放。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 碱性废气处理系统 | 《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017） | 含氨废气（G1）经碱性废气处理系统处理后通过36米高DA001排气筒达标排放 | 本项目DA001废气排放口氨的排放浓度、排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）表3中有组织排放相应标准限值要求 | |
| 2 | 活性炭吸附处理系统 | 《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017） | 有机废气（G2）经活性炭吸附处理系统处理后通过36米高DA002排气筒达标排放 | DA002废气排放口非甲烷总烃、异丙醇的排放浓度、排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）表3中有组织排放相应标准限值要求 | |
| 3 | 酸性废气处理系统 | 《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017 | 含酸废气（G3）经酸性废气处理系统处理后通过36米高DA003排气筒达标排放 | DA003废气排放口氟化物的排放浓度、排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）表3中有组织排放相应标准限值要求 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 选用低噪声设备、基础减振、墙体隔声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准 | 选用低噪声设备、基础减振、墙体隔声 | 根据检测结果，本项目东、南、西、北厂界噪声昼间值为49dB(A)-57dB(A)，该项目厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准，能够实现达标排放 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 固体废弃物须按照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类、贮存、处理，并尽可能回收利用。其中废试剂瓶、研磨液瓶、废活性炭、废滤棉、污水处理系统及喷淋塔底泥等属危险废物，须委托有资质的单位进行处置，执行**危险废物转移联单制度。危险废物的贮存应遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。同时建设单位须制定危险废物管理计划，报开发区有关部门备案。 | 固体废弃物按照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类、贮存、处理，并尽可能回收利用。其中废试剂瓶、研磨液瓶、废活性炭、废滤棉、污水处理系统及喷淋塔底泥等属危险废物，委托**省****中心****公司）进行处置，执行**危险废物转移联单制度。危险废物的贮存遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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