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高端半导体装备工艺提升及产业化项目

审批

北京-北京-大兴区

发布时间： 2025年05月28日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0302MA01MRG182	景璀
李志新	****开发区
北****开发区科谷四街1号院13号楼1至6层

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

高端半导体装备工艺提升及产业化项目

2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造	C3562-C3562-半导体器件专用设备制造
	市区北****开发区科谷四街1号院13号楼1至6层
经度:116.58037 纬度: 39.7807	****环境局
	2023-05-29
经环保审字〔2023〕0055号	无
	32385.56
10	****
****0302MA01MRG182	****
****0302MA01MRG182	壹检（北****公司
****0400MACB8M0Y0H	2025-03-04

2025-05-19	2025-05-28
	https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=455171

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

扩建	扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年生产高阶工艺300mmCMP设备24台、300mm并行研磨平台竖直清洗高效CMP设备18台	年生产高阶工艺300mmCMP设备24台、并行研磨平台竖直清洗高效300mmCMP设备4台、6 8寸兼容CMP设备14台
产品规格调整，数量无变化

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、高阶工艺300mmCMP设备生产线（领料出库-模组装配-合机测试-EFFM区域-Polisher区域-Cleaner区域-SRD区域-EFEM区域-出具整机检测报告-分系统拆机-整机包装、装车、发货）并行研磨平台竖直清洗高效300mmCMP设备生产线（领料出库-模组装配-合机测试-EFFM区域-Polisher区域-Cleaner区域-SRD区域-EFEM区域-出具整机检测报告-分系统拆机-整机包装、装车、发货）	高阶工艺300mmCMP设备生产线（领料出库-模组装配-合机测试-EFFM区域-Polisher区域-Cleaner区域-SRD区域-EFEM区域-出具整机检测报告-分系统拆机-整机包装、装车、发货） 2、并行研磨平台竖直清洗高效300mmCMP设备、6 8寸兼容CMP设备生产线（领料出库-模组装配-合机测试-EFFM区域-Polisher区域-Cleaner区域-SRD区域-EFEM区域-出具整机检测报告-分系统拆机-整机包装、装车、发货）
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气：含氨废气依托研发项目喷淋塔处理系统处理后，依托研发项目36米高DA001排气筒达标排放，有机废气依托研发项目活性炭吸附处理系统处理后，依托研发项目36米高DA002排气筒达标排放；废水：研磨废水、碱性废水、抛光废水、有机废水、管道清洗废水、纯水制备浓水依托研发项目污水处理设施处理后通过市政管网进入**集团处理厂统一处理，园区化粪池处理后通过市政污水管网进入集团处理厂统一处理；噪声：本项目噪声污染源主要来自CMP设备运转噪声、高温烘箱使用时产生的噪声，设备均位于室内、选用低噪声设备、室内隔声、基础减振；固废：生活垃圾统一收集，交由园区环卫部门定期清理处置，纯水制备产生的废过滤芯、废离子交换树脂、废RO膜、废晶圆、废研磨垫在三层一般固废暂存处进行存放，回收部门回收处置，废气治理措施产生的废活性炭、废滤棉；含氨水、异丙醇等包装废弃物；污水处理系统产生的底泥、喷淋塔产生的底泥等收集于危废暂存间内，委托鑫兴众成****公司处理。	废气：本项目运营过程产生的含氨废气经碱性废气处理系统处理后依托研发项目36米高DA001排气筒达标排放；有机废气经活性炭吸附处理系统处理后依托研发项目36米高DA002排气筒达标排放；废水：研磨废水、碱性废水、抛光废水、有机废水、管道清洗废水依托研发项目污水处理设施处理后通过市政管网进入**集团处理厂统一处理，生活污水、园区化粪池处理后通过市政污水管网进入集团处理厂统一处理；噪声：本项目噪声污染源主要来自CMP设备运转噪声、高温烘箱使用时产生的噪声，设备均位于室内、选用低噪声设备、室内隔声、基础减振；固废：生活垃圾统一收集，交由园区环卫部门定期清理处置，纯水制备产生的废过滤芯、废离子交换树脂、废RO膜、废晶圆、废研磨垫在一般固废暂存处进行存放，回收部门回收处置，废气治理措施产生的废活性炭、废滤棉；含氨水、异丙醇等包装废弃物；污水处理系统产生的底泥、喷淋塔产生的底泥等收集于危废暂存间内，委托省**中心**公司）处理。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0	0
0.2654	0.385	1.5695	0.65	0.385
0.0768	0.091	0.1854	0.168	0.091
0	0	0	0	0
0	0	0	0	0
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0.0019	0.0019	2	0.004	0.002	/

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程