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等离子体灰化系统（Plasma Asher System）采购项目（FS-BX-250020号）采购公告

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2025年05月28日

标书代写官方

摘要信息

招标单位

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招标估价

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招标代理机构

代理联系人

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投标截止时间

关键信息

等离子采购项目采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

等离子体灰化系统（Plasma Asher System）采购项目	****
2025-05-28 19:32:13	2025-05-31 21:00:00
****	预付60%，货到付30%，验收合格后付10%

	签约后30个工作日
￥320000.00




****学园6号楼
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

等离子体灰化系统（Plasma Asher System）

套

其他试验仪器及装置

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

PIE Scientific

Tergeo-Pro

￥ 320000.00

1、一套美国PIE Scientific的型号为Tergeo-Pro的等离子体灰化系统及配套的装置； 2、操作控制系统 2.1 操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，直观易懂的用户界面； 2.2 程序控制：可编程，总共有20个配方。单个程序操作模式一次执行一个配方；多程序模式可以最多一次执行3个配方； 2.3 配方里面可以控制射频电源功率，射频脉冲占空比，3路气体的流量，清洗时间，等离子结束后的吹洗过程。 2.4 根据特有的等离子强度传感器而设计的智能等离子启辉程序。在超低射频功率下，可以自动调整启辉功率，启辉成功后，自动降低到配方设定功率。 2.5 智能系统自检功能实时监测各个部件的状态，以直观的文字模式提示用户目前系统的状态，问题或者当前程序进度。监测用户的操作模式，并且根据用户的操作模式或者碰到的问题实时提供建议。 2.6 可以通过外部电脑操作控制系统。可以要求厂家远程登陆来提供在线诊断和服务。可以存储系统操作和状态日志文件。 3、样品腔体 3.1 腔体材质：圆柱形石英玻璃舱； 3.2 腔体尺寸：内径230毫米，深度280毫米，外径240毫米，壁厚5毫米； 3.3 前观测窗：前方开口，石英玻璃可视窗口，可观测内腔等离子状态，并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置，有效保护操作的安全性； 3.4 铝制样品托盘，配有4，6英寸定位环 4、射频电源 4.1 射频频率：13.56MHz； 4.2 射频功率：0~500瓦，可以以1瓦间距连续可调，自动阻抗匹配； 5.等离子源设计 5.1 等离子强度探测器实时测量等离子源强度； 5.2 外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染； 6.等离子诊断功能 6.1独有的定量等离子体强度传感器引导用户对不同样品调整配方。 6.2根据等离子强度传感器反馈而设计的智能等离子启辉和调谐功能，大大提高工作的射频功率范围，腔体气压范围。 7、气体控制 7.1 气路控制：三路MFC，质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量；支持氩气，氧气，氢气，等气体，可以任意比例混合不同气体。 7.2 一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体； 7.3 自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响； 7.4 高速放气功能可以快速让真空室放气到大气压；慢速放气功能可以精确控制放气速度以避免粉末状颗粒被高速气流吹走； 7.5 气体接口： 1/4英寸SwageLok气体接头； 8、真空系统 8.1爱德华真空泵：抽气速率：12.7m3/h，配套爱德华原厂消音器； 9、提供安装与上门培训服务。

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:五年;服务时限:报修后4小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:三年;