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集成电路供应链及先导技术产业创新中心项目

审批

北京-北京-大兴区

发布时间： 2025年05月30日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

北方**中心**公司
****0302MA017TPY2A	张昕
成晓栋	****开发区
****开发区核心区34M3 地块

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

集成电路供应链及****中心项目

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	**开发区 **开发区核心区34M3 地块
经度:116.50071 纬度: 39.78456	****开发区行政审批局
	2021-04-27
经环保审字〔2021〕0048号	****
2024-09-29	321205.04
19069.09	北方**中心**公司
****0302MA017TPY2A	**集团**公司
911********9945002	奥**公司
911********522249H	2024-12-13

2025-04-23	2025-05-23
	**建设项目环境信息公示平台

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

12英寸晶圆线，占地面积22695.8m2，建筑面积54743.1m2	12英寸晶圆线，占地面积22695.8m2，建筑面积54743.1m2
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

在晶圆片表面上形成具有特定功能的器件结构，主要的基础工艺为清洗、薄膜淀积、光刻、刻蚀、离子注入、扩散等，通过基础工艺的循环及工艺顺序和条件的变换，一层一层的叠加加工，形成复杂的多层器件结构。	在晶圆片表面上形成具有特定功能的器件结构，主要的基础工艺为清洗、薄膜淀积、光刻、刻蚀、扩散等，通过基础工艺的循环及工艺顺序和条件的变换，一层一层的叠加加工，形成复杂的多层器件结构。
根据近几年生产计划，离子注入工序和钴制程工序未建设。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、本项目含氨废水须经锰砂塔+二级空气吹脱+硫酸吸收法处理后进入含氟废水处理系统，最终通过酸碱废水处理系统处理后排放;酸碱废水须经酸碱废水处理系统处理后排放；含氟废水须经含氟废水处理系统处理后，通过酸碱废水处理系统处理后排放;含钴废水须经含钴废水处理系统处理后，通过酸碱废水处理系统处理后排放;含铜废水须经含铜废水处理系统处理后，通过酸碱废水处理系统处理后排放，食堂废水须经隔油池处**园区化粪池消解后排放。 2、本项目酸性废气、外延废气须经碱液喷淋吸收塔处理后排放，碱性废气须经酸液喷淋吸收塔处理后排放:有机废气须经沸石转轮浓缩吸附+焚烧炉系统处理后排放;含砷工艺尾气须经两级干式吸附装置处理后排放。食堂油烟须经油烟净化装置处理后排放，经油烟净化后的油烟排放口与周边环境敏感目标距离不应小于20m，不得朝向居民区，且不得对周边单位造成干扰。 3、固体废弃物须按照《中华人民国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类、贮存、处理，并尽可能回收利用。 4、合理布局，并采取必要的措施确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准。	1、本项目含氨废水须经锰砂塔+二级空气吹脱+硫酸吸收法处理后进入含氟废水处理系统，最终通过酸碱废水处理系统处理后排放;酸碱废水须经酸碱废水处理系统处理后排放；含氟废水须经含氟废水处理系统处理后，通过酸碱废水处理系统处理后排放;含钴废水处理系统不投入使用;含铜废水须经含铜废水处理系统处理后，通过酸碱废水处理系统处理后排放；生活污水经厂区自建的化粪池/隔油池处理后，委托有资质三方新时代公司清运处理，最终处理厂。 2、本项目酸性废气、外延废气须经碱液喷淋吸收塔处理后排放，碱性废气须经酸液喷淋吸收塔处理后排放:有机废气须经沸石转轮浓缩吸附+焚烧炉系统处理后排放;含砷废气处理系统不投入使用。食堂油烟须经油烟净化装置处理后排放，经油烟净化后的油烟排放口与周边环境敏感目标距离不应小于20m，不得朝向居民区，且不得对周边单位造成干扰。 3、固体废弃物须按照《中华人民国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类、贮存、处理，并尽可能回收利用。 4、合理布局，并采取必要的措施确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准。
1、含钴废水处理系统已建设，但钴制程工序未建设，因此钴废水处理系统未投入使用；2、根据厂区其他项目建设内容，生活污水处理系统增加了AAO处理设备，目前AAO设备还在建设中，暂时无法投入使用，生活污水经厂区自建的化粪池/隔油池处理后，委托有资质三方新时代公司清运处理，最终处理厂。待AAO设备投入使用后，生活污水经AAO处理后于**开发区市政污水管网。3、含砷废气处理系统已建设，但离子注入工序未建，无含砷废气产生，因此含砷废气处理系统未使用。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

拟**不小于839m3的事故应急池	已建成事故应急池总容积1600m3。
根据实际生产要求，事故应急池总容积增加761m3

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

71.496	0	71.496	71.496
124.899	116.42	124.899	124.899
13.292	17.59	13.292	13.292
0.172	0	0.172	0.172
18.408	0	18.408	18.408
180561.6	0	180561.6	180561.6	/
3.357	1.92	3.357	3.357	/
3.357	10.55	3.357	3.357	/
1.046	4.82	1.046	1.046	/
0.55	3.34	0.55	0.55	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

含氨废水处理系统、酸碱废水处理系统、含氟废水处理系统、含铜废水处理系统

排放标准执行**市地方标准《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）“表3排入公共污水处理系统的水污染物排放限值”中相应标准。同时需满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中间接排放标准要求。

含氨废水须经锰砂塔+二级空气吹脱+硫酸吸收法处理后进入含氟废水处理系统，最终通过酸碱废水处理系统处理后排放;酸碱废水须经酸碱废水处理系统处理后排放；含氟废水须经含氟废水处理系统处理后，通过酸碱废水处理系统处理后排放;含钴废水处理系统不投入使用;含铜废水须经含铜废水处理系统处理后，通过酸碱废水处理系统处理后排放；生活污水经厂区自建的化粪池/隔油池处理后，委托有资质三方**新时代****公司清运处理，最终****处理厂。

验收监测期间，生产废水排口中pH值为7.1-7.6，满足其标准限值6.5~9；CODCr排放浓度为76-216mg/L，小于其标准限值500mg/L；BOD5排放浓度为31-128mg/L，小于其标准限值300mg/L；悬浮物排放浓度＜5mg/L，小于其标准限值400mg/L；氨氮排放浓度为9.6-21.5mg/L，小于其标准限值45mg/L；氟化物排放浓度为2.39-4.69mg/L，小于其标准限值10mg/L；总磷排放浓度0.12-0.18mg/L，小于其标准限值8.0mg/L；总氮排放浓度16.8-24.9mg/L，小于其标准限值70mg/L；总铜排放浓度＜0.01mg/L，小于其标准限值1mg/L；动植物油类排放浓度＜0.06mg/L，小于其标准限值50mg/L；阴离子表面活性剂排放浓度为0.06-0.09mg/L，小于其标准限值15mg/L。生活废水中pH值为8.1-8.3，满足其标准限值6.5~9；CODCr排放浓度为19~40mg/L，小于其标准限值500mg/L；BOD5排放浓度为4.5~9.1mg/L，小于其标准限值300mg/L；悬浮物排放浓度＜5mg/L，小于其标准限值400mg/L；氨氮排放浓度为17.7~19.7mg/L，小于其标准限值45mg/L；总磷排放浓度0.34~0.96mg/L，小于其标准限值8mg/L；总氮排放浓度23.6~25.9mg/L，小于其标准限值70mg/L；动植物油类排放浓度＜0.06mg/L，小于其标准限值50mg/L；阴离子表面活性剂排放浓度＜0.05mg/L，小于其标准限值15mg/L。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

酸性废气处理系统、有机废气处理系统、碱性废气处理系统、食堂油烟净化系统

酸性废气中的颗粒物、氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物、氨、硫酸雾污染物执行《电子工业大气污染物排放标准》（DB11/1631-2019）表1中第Ⅱ时段排放浓度限值污染物排放标准，经有机废气处理系统处理后排放尾气中非甲烷总烃排放标准执行**市地方标准《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/1631-2019)表1有关限值要求，氮氧化物排放执行**市地方标准《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/1631-2019)表2有关限值要求，二氧化硫、颗粒物排放执行**市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2017)表2有关污染物排放浓度、速率和高度等的各项规定。酸性废气中的二氧化硫执行**市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）中表3的II时段标准。食堂废气执行《餐饮业大气污染物排放标准》(DB11/1488-2018)的要求。

本项目酸性废气、外延废气须经碱液喷淋吸收塔处理后排放，碱性废气须经酸液喷淋吸收塔处理后排放:有机废气须经沸石转轮浓缩吸附+焚烧炉系统处理后排放;含砷废气处理系统不投入使用。食堂油烟须经油烟净化装置处理后排放，经油烟净化后的油烟排放口与周边环境敏感目标距离不应小于20m，不得朝向居民区，且不得对周边单位造成干扰。

1、有机废气排气筒两天内所测的非甲烷总烃最大浓度为1.81mg/m3，小于其浓度限值10mg/m3；二氧化硫最大浓度<3mg/m3，小于其浓度限值20mg/m3；氮氧化物最大浓度<3mg/m3，小于其浓度限值100mg/m3；颗粒物最大浓度<1mg/m3，小于其浓度限值10mg/m3。酸性废气排气筒两天内所测的氯化氢最大浓度为0.75mg/m3，小于其浓度限值10mg/m3；氨最大浓度为1.66mg/m3，小于其浓度限值10mg/m3；硫酸雾最大浓度为0.41mg/m3，小于其浓度限值5mg/m3；氟化物最大浓度为0.41mg/m3，小于其浓度限值3mg/m3；氮氧化物最大浓度<3mg/m3，小于其浓度限值50mg/m3；二氧化硫最大浓度<3mg/m3，小于其浓度限值100mg/m3；颗粒物最大浓度<1mg/m3，小于其浓度限值10mg/m3；氯气最大浓度<0.2mg/m3，小于其浓度限值3mg/m3。碱性废气排气筒两天内所测的氨最大浓度为1.73mg/m3，小于其浓度限值10mg/m3。 2、油烟废气排气筒所测的颗粒物最大浓度为2.2mg/m3，小于其浓度限值5mg/m3；非甲烷总烃最大浓度为1.62mg/m3，小于其浓度限值10mg/m3；油烟最大浓度为0.6mg/m3，小于其浓度限值1mg/m3。 3、无组织排放废气硫酸雾最大排放浓度为0.009mg/m3，小于其标准限值0.3mg/m3；非甲烷总烃最大排放浓度为0.68mg/m3，小于其标准限值1.0mg/m3；氯化氢排放浓度<0.003mg/m3，小于其标准限值0.01mg/m3；氯气排放浓度<0.02mg/m3，小于其标准限值0.02mg/m3。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

降噪设备

噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准

本项目生产设备位于洁净厂房内，声级较小，产噪设备主要为冷冻机组、真空泵、风机、水泵等动力设备。本项目主要降噪措施为：合理布置声源，采取相应的隔声、减振、消声、吸声等降噪措施。

验收监测期间，厂界昼间噪声测定值在58~64dB(A)之间，小于其标准限值65dB(A)；夜间噪声测定值在52~54dB(A)，小于其标准限值55dB(A)。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

分区防渗，废液收集罐区和危险废物暂存库、柴油储罐等重点防渗区地面须按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001），防渗层为至少 1 米厚粘土层，或 2mm 厚**度聚乙烯，或至少 2mm 厚的其它人工材料，确保渗透系数≤10-10cm/s。所有废水处理设施底、侧面均采用防渗、防腐处理。废水输送全部采用管道，并作表面防腐、防锈蚀处理。

①分区防治措施本项目对厂内可能泄漏污染物的区域地面和构筑物分区采取严格的防渗措施。根据可能泄漏至地面区域污染物的性质和生产单元的构筑方式，将厂区划分为重点污染防治区和一般污染防治区。重点污染防治区包括生产厂房、动力站、废水处理站、污水输送管线。重点防护区地面进行防渗设计。 ②防治泄漏、收集措施为了防止液体化学品泄漏，化学品车间、废水处理站均设有经过防渗、防腐处理的地沟、围堰、事故水池。地沟、围堰能阻拦泄漏的化学品及废液溢出建筑物，废液经地沟围堰内的集水井收集泵至事故水池处理经过上述措施能有效避免化学品及废液泄漏后造成土壤及地下水污染。 ③地下水污染控制本项目建立厂区地下水环境监控体系，包括科学合理地设置地下水污染监控井、制定监测计划、配备先进的检测仪器和设备，以便及时发现问题，采取措施控制污染。结合厂区水文地质条件和地下水流动条件，本项目在厂区内设置地下水监测井1眼，定期监测，如发现异常或发生事故，应加密监测频次，并分析污染原因，确定泄漏污染源，及时采集应急措施。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固体废弃物须按照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》中相关规定分类、贮存、处理，并尽可能回收利用。

本项目所有危险废物均交由有危险废物处理资质的单位处置。签订危险废物协议单位为**鑫兴众成****公司和**鼎泰****公司。本项目一般废物中废离子交换树脂、废吸附过滤芯和反渗透膜由厂家更换后直接回收，硫酸铵废液、氟化钙污泥、废包装材料、其他****公司回收；签订一般固体废物协议单位为******公司。本项目办公生活垃圾由市政环卫部门统一清运。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

加强环境风险防范，落实各项风险防范措施，制定突发环境事故应急预案，报开发区有关部门备案，并与开发区应急预案联动。加强化学品在运输和使用过程中的管理，分类贮存。贮存场所须按标准建设，应设自动报警装置和必要的应急防范措施，防止火灾、泄漏、爆炸。

项目电气室、数据中心（名称变更为IT机房，用途不变）等处均采用FM200气体灭火系统；厂区各建构筑物配备有室外消火栓、室内消火栓，除禁水性等特殊区域外，均配置有自动喷水灭火系统，设置有毒有害物质泄露应急排风设施，FAB、CUB、HPM、SGS所有有毒有害物质房间，均设置有全室排风兼事故排风系统。含有剧毒物质房间的事故通风，需经活性炭吸附装置处理之后排放。已建成事故应急池总容积1600m3。雨水总排口设有截止阀。应急预案已经备案，备案编号为110115-2024-540-M。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程