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福州大学干法刻蚀系统等设备采购项目

福建 -福州

发布时间： 2025年05月30日

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****2025年05月至2025年06月政府采购意向-****干法刻蚀系统等设备采购项目详细情况

****干法刻蚀系统等设备采购项目
项目所在采购意向：	****2025年05月至2025年06月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	****干法刻蚀系统等设备采购项目
预算金额：	40.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	采购内容:其他仪器仪表采购数量:1.0000台主要功能或目标:1、仪器设备为刻蚀系统，**实验室中的薄膜表面刻蚀和处理任务，支持的表面处理包括各向同性刻蚀和各项异性刻蚀等多种工艺需求，适用于先进电子器件的制备和开发。**实验室 24 小时不间断运行环境下，保持高稳定性和低故障率，全年理论工作时长超过 1,000 小时；2、预期将3路特殊气体从外部接入超净间的干刻蚀设备，并实现特气无害化处理需满足的要求:1、通过验收后，提供一年质保。 2、与采购的干刻蚀设备匹配，严格预防气体泄漏风险，满足气体无害化排放，提供质保
预计采购时间：	2025-06
备注：	无