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为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将****2025年度(第223批)采购意向公开如下:
| 1 | ****干法刻蚀系统等设备采购项目 |
采购内容:干法刻蚀系统
采购数量:1台
采购内容:干法刻蚀系统(二次配)
采购数量:1台
主要功能或目标:1、仪器设备为刻蚀系统,****实验室中的薄膜表面刻蚀和处理任务,支持的表面处理包括各向同性刻蚀和各项异性刻蚀等多种工艺需求,适用于先进电子器件的制备和开发。****实验室 24 小时不间断运行环境下,保持高稳定性和低故障率,全年理论工作时长超过 1,000 小时;2、预期将3路特殊气体从外部接入超净间的干刻蚀设备,并实现特气无害化处理
需满足的要求:1、通过验收后,提供一年质保。 2、与采购的干刻蚀设备匹配,严格预防气体泄漏风险,满足气体无害化排放,提供质保
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160.000000 | 2025年06月 | 无 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025年05月30日