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高真空离子溅射仪采购结果公告
招标详情
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***********公司企业信息
| 申购单主题： | 高真空离子溅射仪 | 申购单位： | **** | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 高真空离子溅射仪 | 速普 | S20 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 送货到安装地，协助安装和操作培训，后期使用过程中提供应用咨询服务。 | ||||||
| 规格 | 双靶，高真空，涡轮分子泵与无油隔膜泵组合，抽速 ≥隔膜泵 0.7 m3/h +分子泵 30.5m3/h实现10-2 Pa量级的洁净真空。配备旋转样品台，可均匀稳定地沉积导电膜，适用于样品的喷金处理。 高真空双靶离子溅射仪S20技术参数 1.真空泵：分子泵+隔膜干泵 2. 抽速：隔膜泵≥0.7m3/h+分子泵30.5m3/h 3. 极限真空：＜5*10-2Pa量级 4. 工作气压：典型值0.5~2Pa 5. 抽真空时间：3~5min 6. 真空计：高真空复合真空计 7. 腔体：~Φ 135 *120 mm 8.★数显样品台：Φ75mm旋转样品台转速：60RPM，靶基距45-60mm可调 9. ★溅射靶材：靶材尺寸 Φ 30 0.5mm/2只，可实现单靶溅射、双靶交替 溅射功能 10.★溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ，Max. 100 mA，0-800 V DC 11. ★操作方式：触摸屏控制，控制系统提供互锁 配件:Φ30*0.5mm金靶+Φ30*0.5 mm铂靶各一片，裂片机。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 159500 | 最低价原则 | |||||
招标进度跟踪
2025-05-31
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高真空离子溅射仪采购结果公告
当前信息
2025-05-23
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