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重庆欣晖硅及碳化硅部件项目（一阶段）

审批

重庆-重庆-江北区

发布时间： 2025年06月03日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0000MABY7H4B8M	朱攀
赵鑫	**市两江新区
区-两江新区市两江新区鱼嘴组团C3-2-1****园区）

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

**欣晖硅及碳化硅部件项目（一阶段）	****

2021版本:(36--081)-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	市两江新区市**区鱼嘴镇长美一支路18号
经度:106.72134 纬度: 29.62632	**保护局**分局
	2023-08-02
渝（两江）环准〔2023〕81号	****0000MABY7H4B8M001U
2024-06-04	125000
2500	****
****0000MABY7H4B8M	******研究院有限公司
****0000MA614L462J	******公司
****0112MA5UMBWK03	2025-02-15

2025-04-29	2025-05-29
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=50429A8q4K

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

硅环产能13万件/年、硅电极产能4万件/年、碳化硅环产能8万片/年，其中项目第一阶段硅环产能1.37万件/年、硅电极产能0.42万件/年，碳化硅环产能1万片/年；项目第二阶段硅环产能5.47万件/年、硅电极产能1.68万件/年，碳化硅环产能3万片/年；项目第三阶段硅环产能6.16万件/年、硅电极产能1.90万件/年，碳化硅环产能4万片/年。	一阶段实际产能硅环产能1.37万件/年、硅电极产能0.42万件/年，碳化硅环产能1万片/年
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

硅：硅料-配料-拉晶硅部件：擦拭-截断-加工-刻蚀-清洗-质检碳化硅：叠层-沉积-加工-清洗-刻蚀-清洗-质检	硅：硅料-配料-拉晶硅部件：擦拭-截断-加工-刻蚀-清洗-质检碳化硅：叠层-沉积-加工-清洗-刻蚀-清洗-质检
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废水：本项目废水分为生产废水和生活污水，生产废水包括Local scrubber装置废水、酸碱废水、含氟废水、高氨废水、生化废水、研磨废水、清洗废水等7类废水，清洗废水采用回用水装置处理系统处理后回用于冷却塔补水；Local scrubber装置废水经碳化硅生产厂房local scrubber装置废液收集间储罐中转，泵送至综合动力站Local scrubber装置废水处理系统处理；酸碱废水直接经管道排入污水处理系统，泵送至综合动力站酸碱废水处理系统处理；含氟废水浓HF废液储罐、CT-MA废液储罐中转，泵送至综合动力站含氟废水处理系统处理；高氨废水GTS-301废液储罐中转，泵送至综合动力站高氨废水处理系统处理；生化废水直接经管道排入污水处理系统，泵送至综合动力站生化废水处理系统处理；研磨废水研磨液储罐，泵送至综合动力站研磨废水处理系统处理；生产废水**处理厂进水水质标准（氟化物执行《电子工业水污染物排放标准》GB39731-2020表1中直接排放标准）后经过厂区生产废水总排口排放至市政污水管网。生活污水经一体化处理设处理厂进水水质标准后，经生活污水排放口排放至污水管网；废水经污水处理厂深度处理达《处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中的一级A标准后排入长江。废气：擦拭废气：加强车间通风，车间内排放；切削液挥发废气：加强车间通风，车间内排放；喷砂废气：每台设备自配布袋除尘装置，处理后车间内排放；刻蚀酸性废气：一级碱液喷淋装置处理后，经过DA001排气筒（30m）排放；刻蚀碱性废气：一级酸液喷淋装置处理后，经过DA002排气筒（30m）排放；酸碱分配间废气：酸性废气采用一级碱液喷淋处理，经过DA001排气筒（30m）排放；碱性废气采用一级酸液喷淋处理，经过DA002排气筒（30m）排放；气相沉积工艺废气：Local scrubber（二级碱喷淋塔）+二级碱喷淋塔处理后，经过DA003排气筒（40m）排放；处理站废气：采用两级酸碱喷淋处理后，经过DA004排气筒（25m）排放；天然气燃烧废气：设置低氮燃烧器+烟气回流装置，经过DA005排气筒（25m）排放；MTS储罐区：MTS储罐大小呼吸产生的废气经过Local scrubber装置（二级碱液喷淋）处理后，经专用管道引致楼顶排放；食堂油烟：采用油烟净化器处理后，经专用管道引致楼顶排放。噪声：本项目主要噪声源为生产设备、风机、水泵、锅炉等设备噪声，采取的噪声治理措施为：高噪声设备基础减振、合理布局、厂房隔声，室外风机外设置隔声罩等。固废：一般工业固体废物：有利用价值一般固废收集后外卖。生活垃圾定点集中收集，委托当地环卫部门定期清运。项目在硅生产厂房1F西北角建设1座80m2的一般固废暂存间，参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）相应环境保护要求设置，满足防雨淋、防扬尘、防流失要求。危险废物：项目设置2座危险废物贮存库，在硅生产厂房1F东北角建设1座1#危险废物贮存库，占地80m2，用于储存拟建项目产生的酸桶、碱桶等危险废物；在碳化硅厂房1F建设1座2#危险废物贮存库，占地100m2，用于暂存制氢废隔膜、废油、废油桶、污水处理污泥、硫酸铵废液、酸性废水等。危险废物污染控制满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，危险废物分门别类存放于危险废物贮存库，定期交有资质单位处置。危险废物贮存库进行了基础防渗，防渗层设施“混凝土结构板+3mm聚氨酯防水涂膜+10mm水泥结晶防水砂浆”，符合防渗要求，内设截排水沟及收集池，满足采取防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐等六防措施，设置危险废物标识，危险废物分区分类存放，满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）相关要求。危险废物贮存设施按照《危险废物识别标志设置技术规范》（HJ 1276-2022）设置标识标签，按照《危险废物管理计划和管理台账制定技术导则》（HJ 1259—2022）建立台账，按照《危险废物转移联单管理办法》要求定期由有资质的废物处理单位进行处置。生活垃圾、废水生化污泥定期由环卫部门清运。餐厨垃圾由餐厨垃圾处置单位收集处置。风险防范措施：硅及碳化硅机加刻蚀厂房1F和2F、-1F废水提升站，化学品车间，综合动力站硫酸铵废液储罐区，碳化硅生产厂房local scrubber装置废液收集间，厂区各废水管道，综合动力站污水处理系统（含化学品间）和硫酸铵废液储罐区、事故水池，危险废物贮存库，制氢站，柴油罐区，事故应急池等防渗同时满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）要求，危险废物贮存库做到“六防”（防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐），地面和墙体（不低于1.2m）采取防腐、防渗措施，设置收集沟和收集池；危险废物用符合要求的专门容器盛装暂存至危险废物贮存库内或1#废水提升站。不同类别的危险废物做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。废水处理站化学品车间地面为重点防渗区，且设置收集沟和收集槽，处理站设置应急事故池，收集沟和收集槽与事故池连通，确保泄漏情况下各类化学品不出厂。委托有相关资质的车辆进行各类酸碱溶液、MTS、氢气等危化品的运输。废水处理站设置4座应急池，研磨废水和含氟废水应急池共500m3，用于收集事故状态下研磨废水和含氟废水；生化废水应急池有效容积300m3，用于收集事故状态下生化废水；企业环境风险事故应急池容积为396m3/d，用于收集消防废水。全厂事故状态下，废水收集进入相应事故应急池，不会排入外环境，处理站排出故障碳化硅生产厂房和刻蚀工序需停产，待废水站恢复正常运行时再生产。酸碱分配间和刻蚀区域应设置相应截流措施（四周设置截流沟），确保事故状态下将酸碱分配间和刻蚀区域泄露的刻蚀液收集起来，不外排。各生产车间采用消防沙、干粉等方式进行消防灭火；企业在综合动力站设置了1座环境风险事故应急池，容积为396m3，用于收集消防废水。厂区配备消防器材，对场区工作人员进行消防培训，各厂区安装有毒、易燃气体泄漏报警装置，严格规章制度，加强管理，严禁携带火种进入涂装车间，并且车间内禁烟。危险废物贮存库采取防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐和警示牌等措施；险废物用符合要求的专门容器盛装，暂存危险废物贮存库内。不同类别的危险废物已做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。 MTS采用双层罐车运输，在化学品车间内储存，MTS罐车存放区四周及地面进行重点防渗，设置截流沟和收集井，MTS储罐自配液位测漏装置测量夹层内的液位值，可及时发现MTS储罐是否发生泄漏。泄漏检测报警装置属于备用装置，厂区后期项目MTS和氢气发生泄漏，泄漏检测报警装置可通知工作人员，及时采取关应急措施，将风险控制到最小。制氢站固定式高压储氢容器应配备必要的安全附件，并应保证安全附件能够正常工作，配备泄压装置、安全阀和爆破片。配套设置氢气探测报警装置、火焰检测探头和氢气纯度监测系统。企业应编制环境风险评估及环境突发环境事件应急预案并定期开展演练；拟建项目风险防范****工业园区实现衔接和联动。	废水：本项目废水分为生产废水和生活污水，生产废水包括Local scrubber装置废水、酸碱废水、含氟废水、高氨废水、生化废水、研磨废水、清洗废水等7类废水，清洗废水采用回用水装置处理系统处理后回用于冷却塔补水；Local scrubber装置废水经碳化硅生产厂房local scrubber装置废液收集间储罐中转，泵送至综合动力站Local scrubber装置废水处理系统处理；酸碱废水直接经管道排入污水处理系统，泵送至综合动力站酸碱废水处理系统处理；含氟废水浓HF废液储罐、CT-MA废液储罐中转，泵送至综合动力站含氟废水处理系统处理；高氨废水GTS-301废液储罐中转，泵送至综合动力站高氨废水处理系统处理；生化废水直接经管道排入污水处理系统，泵送至综合动力站生化废水处理系统处理；研磨废水研磨液储罐，泵送至综合动力站研磨废水处理系统处理；生产废水**处理厂进水水质标准（氟化物执行《电子工业水污染物排放标准》GB39731-2020表1中直接排放标准）后经过厂区生产废水总排口排放至市政污水管网。生活污水经一体化处理设处理厂进水水质标准后，经生活污水排放口排放至污水管网；废水经污水处理厂深度处理达《处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中的一级A标准后排入长江。废气：擦拭废气：加强车间通风，车间内排放；切削液挥发废气：加强车间通风，车间内排放；喷砂废气：每台设备自配布袋除尘装置，处理后车间内排放；刻蚀酸性废气：一级碱液喷淋装置处理后，经过DA001排气筒（30m）排放；刻蚀碱性废气：一级酸液喷淋装置处理后，经过DA002排气筒（30m）排放；酸碱分配间废气：酸性废气采用一级碱液喷淋处理，经过DA001排气筒（30m）排放；碱性废气采用一级酸液喷淋处理，经过DA002排气筒（30m）排放；气相沉积工艺废气：Local scrubber（二级碱喷淋塔）+二级碱喷淋塔处理后，经过DA003排气筒（40m）排放；处理站废气：采用两级酸碱喷淋处理后，经过DA004排气筒（25m）排放；天然气燃烧废气：设置低氮燃烧器+烟气回流装置，经过DA005排气筒（25m）排放；MTS储罐区：MTS储罐大小呼吸产生的废气经过Local scrubber装置（二级碱液喷淋）处理后，经专用管道引致楼顶排放；食堂油烟：采用油烟净化器处理后，经专用管道引致楼顶排放。噪声：本项目主要噪声源为生产设备、风机、水泵、锅炉等设备噪声，采取的噪声治理措施为：高噪声设备基础减振、合理布局、厂房隔声，室外风机外设置隔声罩等。固废：一般工业固体废物：有利用价值一般固废收集后外卖。生活垃圾定点集中收集，委托当地环卫部门定期清运。项目在硅生产厂房1F西北角建设1座80m2的一般固废暂存间，参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）相应环境保护要求设置，满足防雨淋、防扬尘、防流失要求。危险废物：项目设置2座危险废物贮存库，在硅生产厂房1F东北角建设1座1#危险废物贮存库，占地80m2，用于储存拟建项目产生的酸桶、碱桶等危险废物；在碳化硅厂房1F建设1座2#危险废物贮存库，占地100m2，用于暂存制氢废隔膜、废油、废油桶、污水处理污泥、硫酸铵废液、酸性废水等。危险废物污染控制满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，危险废物分门别类存放于危险废物贮存库，定期交有资质单位处置。危险废物贮存库进行了基础防渗，防渗层设施“混凝土结构板+3mm聚氨酯防水涂膜+10mm水泥结晶防水砂浆”，符合防渗要求，内设截排水沟及收集池，满足采取防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐等六防措施，设置危险废物标识，危险废物分区分类存放，满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）相关要求。危险废物贮存设施按照《危险废物识别标志设置技术规范》（HJ 1276-2022）设置标识标签，按照《危险废物管理计划和管理台账制定技术导则》（HJ 1259—2022）建立台账，按照《危险废物转移联单管理办法》要求定期由有资质的废物处理单位进行处置。危险废物委托资质单位定期转运处置。建设单位与**公司、海创**公司分别签订了危险废物安全处置委托服务合同，危险废物定期交两单位转运处置。生活垃圾、废水生化污泥定期由环卫部门清运。餐厨垃圾由餐厨垃圾处置单位收集处置。风险防范措施：硅及碳化硅机加刻蚀厂房1F和2F、-1F废水提升站，化学品车间，综合动力站硫酸铵废液储罐区，碳化硅生产厂房local scrubber装置废液收集间，厂区各废水管道，综合动力站污水处理系统（含化学品间）和硫酸铵废液储罐区、事故水池，危险废物贮存库，制氢站，柴油罐区，事故应急池等防渗同时满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）要求，危险废物贮存库做到“六防”（防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐），地面和墙体（不低于1.2m）采取防腐、防渗措施，设置收集沟和收集池；危险废物用符合要求的专门容器盛装暂存至危险废物贮存库内或1#废水提升站。不同类别的危险废物做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。废水处理站化学品车间地面为重点防渗区，且设置收集沟和收集槽，处理站设置应急事故池，收集沟和收集槽与事故池连通，确保泄漏情况下各类化学品不出厂。委托有相关资质的车辆进行各类酸碱溶液、MTS、氢气等危化品的运输。设置4座应急池，研磨废水应急池有效容积240m3、含氟废水应急池有效容积230m3，用于收集事故状态下研磨废水和含氟废水，能满足事故状态下研磨废水（3.48m3/d）和含氟废水（43.837m3/d）8小时废水（研磨废水1.16m3、含氟废水14.612m3）储存量；生化废水应急池有效容积323m3，用于收集事故状态下生化废水，能满足事故状态下生化废水（680.314m3/d）8小时废水（226.771m3）的储存；企业环境风险事故应急池容积共计450m3（其中1#事故应急池270m3，MTS车间设置收集坑20m3，2#事故应急池160m3），用于收集消防废水（432m3）。应急池收容事故水的能力满足各全厂事故状态下，废水收集进入相应事故应急池，不会排入外环境，处理站排出故障碳化硅生产厂房和刻蚀工序需停产，待废水站恢复正常运行时再生产。酸碱分配间和刻蚀区域应设置相应截流措施（四周设置截流沟），确保事故状态下将酸碱分配间和刻蚀区域泄露的刻蚀液收集起来，不外排。厂区配备消防器材，对场区工作人员进行消防培训，各厂区安装有毒、易燃气体泄漏报警装置，严格规章制度，加强管理，严禁携带火种进入涂装车间，并且车间内禁烟。危险废物贮存库采取防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐和警示牌等措施；险废物用符合要求的专门容器盛装，暂存危险废物贮存库内。不同类别的危险废物已做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。 MTS采用双层罐车运输，在化学品车间内储存，MTS罐车存放区四周及地面进行重点防渗，设置截流沟和收集井，MTS储罐自配液位测漏装置测量夹层内的液位值，可及时发现MTS储罐是否发生泄漏。泄漏检测报警装置属于备用装置，厂区后期项目MTS和氢气发生泄漏，泄漏检测报警装置可通知工作人员，及时采取关应急措施，将风险控制到最小。制氢站固定式高压储氢容器应配备必要的安全附件，并应保证安全附件能够正常工作，配备泄压装置、安全阀和爆破片。配套设置氢气探测报警装置、火焰检测探头和氢气纯度监测系统。企业已经编制环境风险评估及环境突发环境事件应急预案，风险防范****工业园区实现衔接和联动，将按照要求定期开展演练。
化学品车间未建设MTS（甲基三氯硅烷）储罐区，将该区域设置为MTS罐车存放区，由环评阶段将外购MTS转移至储罐储存，改为装有外购MTS的运输单位罐车直接牵引至化学品车间内存放，减少转移物料过程产生的风险；研磨废水应急池有效容积240m3、含氟废水应急池有效容积230m3，用于收集事故状态下研磨废水和含氟废水，能满足事故状态下研磨废水（3.48m3/d）和含氟废水（43.837m3/d）8小时废水（研磨废水1.16m3、含氟废水14.612m3）储存量；生化废水应急池有效容积323m3，用于收集事故状态下生化废水，能满足事故状态下生化废水（680.314m3/d）8小时废水（226.771m3）的储存；企业环境风险事故应急池容积共计450m3（未设置储罐区围堰，其中1#事故应急池270m3，MTS车间设置收集坑20m3，2#事故应急池160m3），用于收集消防废水（432m3）。高氨废水、生化废水和Local scrubber装置废水处理设施的设计处理能力与环评相比降低，但处理能力满足各工序一阶段废水处理需求，后续根据实际废水处理需求进行调整。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0
5.165	18.025	5.165	5.165
0.517	1.803	0.517	0.517
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.194	0.282	0.194	0.194	/
0	0	0	0	/
0.354	0.803	0.354	0.354	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	生活污水经一体化处理设施	****处理厂进水水质标准	建设1套生活污水经一体化处理设施	生活污水一体化设施排放口：pH、化学需氧量、五日生化需氧量、悬浮物、氨氮、总氮、****处理厂进水水质要求标准
2	Local scrubber装置废水“两级反应调节-混凝-絮凝-沉淀-出水至生化废水处理系统”	****处理厂进水水质要求	Local scrubber装置废水进入“两级反应调节-混凝-絮凝-沉淀-出水至生化废水处理系统”处理	厂区综合废水排放口：pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮排****处理厂进水水质要求
3	酸碱废水处理系统	****处理厂进水水质要求	酸碱废水进入酸碱废水处理系统处理	厂区综合废水排放口：pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮排****处理厂进水水质要求
4	含氟废水处理系统	氟化物排放浓度执行《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1直接排放限值	含氟废水进入含氟废水处理系统处理	氟化物排放浓度符合《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1直接排放限值
5	高氨废水处理系统	****处理厂进水水质要求	“锰砂过滤器-中间水池-换热器加热-两级吹脱-出水”处理系统	厂区综合废水排放口：pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮排****处理厂进水水质要求
6	生化废水处理系统	****处理厂进水水质要求	进入生化反应池（AO工艺）加强工艺脱氮的效果，再进入MBR池，通过生物系统的硝化和反硝化反应，去除废水中NH3-N及TN	厂区综合废水排放口：pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮排****处理厂进水水质要求
7	研磨废水处理系统	****处理厂进水水质要求	混凝沉淀法	厂区综合废水排放口：pH、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总氮排****处理厂进水水质要求
8	清洗废水回用系统	《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T19923-2005）中敞开式循环冷却水系统补水标准	活性炭吸附过滤-紫外杀菌-保安过滤器-回用水池	清洗废水回用不外排

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	蚀刻废气一级碱喷淋	《大气污染物综合排放标准》(DB 50/418-2016)中表 1 的“主**”标准	建设碱喷淋设施	酸刻蚀废气排放口DA001排放的硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物排放浓度、速率满足《大气污染物综合排放标准》(DB 50/418-2016)中表 1 的“主**”标准
2	碱蚀刻废气一级酸喷淋	《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）二级标准	建设一级酸喷淋设施	碱刻蚀废气排放口DA002排放的氨排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）二级标准限值要求
3	两级酸喷淋/两级碱喷淋合并排放	《大气污染物综合排放标准》(DB 50/418-2016)、《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）二级标准	生产废水处理设施产生的酸碱废气分别经过两级酸喷淋/两级碱喷淋处理后合并到DA004排放口排放	生产废水处理设施废气排放口DA004排放的氯化氢、氟化物排放浓度、速率满足《大气污染物综合排放标准》(DB 50/418-2016)中表 1 的“主**”标准，氨排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）二级标准限值要求
4	自带Local Scrubber装置（两级碱喷淋）+两级碱喷淋	《大气污染物综合排放标准》(DB 50/418-2016)中表 1 的“主**”标准	CVD炉设置废气经过自带Local Scrubber装置处理后，进入楼顶的两级碱喷淋进一步处理后排放	CVD炉废气排放口DA003排放的氯化氢及非甲烷总烃足排放浓度、速率满足《大气污染物综合排放标准》(DB 50/418-2016)中表 1 的“主**”标准
5	锅炉废气低氮燃烧+烟气回流	《锅炉大气污染物排放标准》（DB50/658-2016）标准及第1号修改单标准	锅炉设置低氮燃烧+烟气回流装置	燃气锅炉排放口DA005排放浓度满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB50/658-2016）标准及第1号修改单标准

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂房隔声，基础减震

企业南厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类标准，其余厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准

设备设置在厂房内，进行基础减震降低噪声

企业南厂界满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类标准，其余厂界满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

针对项目可能发生的地下水污染，本项目地下水污染防治措施按照“源头控制、分区防治、污染监控、应急响应”相结合的原则，从污染物的产生、入渗、扩散、应急响应全方位进行控制。全厂采取如下分区防渗措施：重点防渗区：硅及碳化硅机加刻蚀厂房1F和2F、-1F废水提升站，化学品车间，综合动力站硫酸铵废液储罐区，碳化硅生产厂房local scrubber装置废液收集间，厂区各废水管道，综合动力站污水处理系统（含化学品间）和硫酸铵废液储罐区、事故水池，危险废物贮存库，制氢站，柴油罐区，事故应急池等。重点防渗区采取等效黏土防渗层 Mb≥6.0m，K≤1×10-7cm/s；或参照GB18598执行。一般防渗区：碳化硅沉积车间、单晶生产车间除危废暂存区外其他区域、纯水制备区域、成品转运站、一般固废暂存间（硅棒生产厂房1F）等。一般防渗区采取等效黏土防渗层 Mb≥1.5m，渗透系数 K≤1×10-7cm/s；或参照GB16889执行。简单防渗区：供电/供水辅助用房、办公用房、门卫室、厂区道路为简单防渗区，一般地面硬化。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固体废物主要包括危险废物、一般工业固体废物和生活垃圾。危险废物分类暂存在危险废物贮存库内。废擦拭抹布、废胶桶、废粘接胶、机械维修废润滑油、沾染有毒有害物质的废化学原料包装物、制氢废隔膜、废机油、实验室检测废液暂存于危险废物贮存库，废切削液暂存于1#废水提升站，切削压滤渣暂存于硅及碳化硅机加刻蚀厂房1F和2F压滤间，定期交有资质单位处理。污水处理污泥、硫酸铵废液先进行危险废物属性鉴别，鉴**果出具之前按照危废管理，污水处理污泥暂存于危险废物贮存库，硫酸铵废液暂存于综合动力站1F硫酸铵废液储罐区。一般固废暂存间分类暂存一般固体废物。废坩埚、废石墨加热器、废石墨、废砂轮外售**化利用；电阻测定不合格品、碳化硅不合格品、废****回收部门综合利用；制氢废催化剂、氢气干燥器废****公司处置；废离子交换树脂和废反渗透膜交由厂家回收处置；未沾染有毒有害物质的废化学原****回收站。生活垃圾收集后交环卫部门统一处理。

厂区产生的固废主要包括一般工业固废、危险废物、生活垃圾等，其中一般工业固体废物包括废坩埚、废石墨加热器、废石墨、废砂轮、电导率不合格产品、碳化硅不合格品、废金刚砂线、制氢废催化剂、氢气干燥器废分子筛、废离子交换树脂和反渗透膜、未沾染有毒有害物质的废化学原料包装物、废活性炭、喷砂除尘灰等；危险废物包括废擦拭抹布、废胶桶、废粘接胶、废切削液和切削压滤渣、沾染有毒有害物质的废化学原料包装物、制氢废隔膜、废润滑油、实验室检测废液、污水处理污泥、硫酸铵废液等。一般工业固体废物：有利用价值一般固废收集后外卖。生活垃圾定点集中收集，委托当地环卫部门定期清运。项目在硅生产厂房1F西北角建设1座80m2的一般固废暂存间，参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）相应环境保护要求设置，满足防雨淋、防扬尘、防流失要求。危险废物：项目设置2座危险废物贮存库，在硅生产厂房1F东北角建设1座1#危险废物贮存库，占地80m2，用于储存拟建项目产生的酸桶、碱桶等危险废物；在碳化硅厂房1F建设1座2#危险废物贮存库，占地100m2，用于暂存制氢废隔膜、废油、废油桶、污水处理污泥、硫酸铵废液、酸性废水等。危险废物污染控制满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，危险废物分门别类存放于危险废物贮存库，定期交有资质单位处置。危险废物贮存库进行了基础防渗，防渗层设施“混凝土结构板+3mm聚氨酯防水涂膜+10mm水泥结晶防水砂浆”，符合防渗要求，内设截排水沟及收集池，满足采取防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐等六防措施，设置危险废物标识，危险废物分区分类存放，满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）相关要求。危险废物贮存设施按照《危险废物识别标志设置技术规范》（HJ 1276-2022）设置标识标签，按照《危险废物管理计划和管理台账制定技术导则》（HJ 1259—2022）建立台账，按照《危险废物转移联单管理办法》要求定期由有资质的废物处理单位进行处置。危险废物委托资质单位定期转运处置。建设单位与******公司、**海创****公司分别签订了危险废物安全处置委托服务合同，危险废物定期交两单位转运处置。生活垃圾、废水生化污泥定期由环卫部门清运。餐厨垃圾由餐厨垃圾处置单位收集处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

硅及碳化硅机加刻蚀厂房1F和2F、-1F废水提升站，化学品车间，综合动力站硫酸铵废液储罐区，碳化硅生产厂房local scrubber装置废液收集间，厂区各废水管道，综合动力站污水处理系统（含化学品间）和硫酸铵废液储罐区、事故水池，危险废物贮存库，制氢站，柴油罐区，事故应急池等防渗同时满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）要求，危险废物贮存库做到“六防”（防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐），地面和墙体（不低于1.2m）采取防腐、防渗措施，设置收集沟和收集池；危险废物用符合要求的专门容器盛装暂存至危险废物贮存库内或1#废水提升站。不同类别的危险废物做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。废水处理站化学品车间地面为重点防渗区，且设置收集沟和收集槽，****处理站设置应急事故池，收集沟和收集槽与事故池连通，确保泄漏情况下各类化学品不出厂。委托有相关资质的车辆进行各类酸碱溶液、MTS、氢气等危化品的运输。废水处理站设置4座应急池，研磨废水和含氟废水应急池共500m3，用于收集事故状态下研磨废水和含氟废水；生化废水应急池有效容积300m3，用于收集事故状态下生化废水；企业环境风险事故应急池容积为396m3/d，用于收集消防废水。全厂事故状态下，废水收集进入相应事故应急池，不会排入外环境，****处理站排出故障碳化硅生产厂房和刻蚀工序需停产，待废水站恢复正常运行时再生产。酸碱分配间和刻蚀区域应设置相应截流措施（四周设置截流沟），确保事故状态下将酸碱分配间和刻蚀区域泄露的刻蚀液收集起来，不外排。各生产车间采用消防沙、干粉等方式进行消防灭火；企业在综合动力站设置了1座环境风险事故应急池，容积为396m3，用于收集消防废水。厂区配备消防器材，对场区工作人员进行消防培训，各厂区安装有毒、易燃气体泄漏报警装置，严格规章制度，加强管理，严禁携带火种进入涂装车间，并且车间内禁烟。危险废物贮存库采取防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐和警示牌等措施；险废物用符合要求的专门容器盛装，暂存危险废物贮存库内。不同类别的危险废物已做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。 MTS采用双层罐车运输，在化学品车间内储存，MTS罐车存放区四周及地面进行重点防渗，设置截流沟和收集井，MTS储罐自配液位测漏装置测量夹层内的液位值，可及时发现MTS储罐是否发生泄漏。泄漏检测报警装置属于备用装置，厂区后期项目MTS和氢气发生泄漏，泄漏检测报警装置可通知工作人员，及时采取关应急措施，将风险控制到最小。制氢站固定式高压储氢容器应配备必要的安全附件，并应保证安全附件能够正常工作，**配备泄压装置、安全阀和爆破片。配套设置氢气探测报警装置、火焰检测探头和氢气纯度监测系统。企业应编制环境风险评估及环境突发环境事件应急预案并定期开展演练；拟建项目风险防范****工业园区实现衔接和联动。

硅及碳化硅机加刻蚀厂房1F和2F、-1F废水提升站，化学品车间，综合动力站硫酸铵废液储罐区，碳化硅生产厂房local scrubber装置废液收集间，厂区各废水管道，综合动力站污水处理系统（含化学品间）和硫酸铵废液储罐区、事故水池，危险废物贮存库，制氢站，柴油罐区，事故应急池等防渗同时满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）要求，危险废物贮存库做到“六防”（防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐），地面和墙体（不低于1.2m）采取防腐、防渗措施，设置收集沟和收集池；危险废物用符合要求的专门容器盛装暂存至危险废物贮存库内或1#废水提升站。不同类别的危险废物做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。废水处理站化学品车间地面为重点防渗区，且设置收集沟和收集槽，****处理站设置应急事故池，收集沟和收集槽与事故池连通，确保泄漏情况下各类化学品不出厂。委托有相关资质的车辆进行各类酸碱溶液、MTS、氢气等危化品的运输。设置4座应急池，研磨废水应急池有效容积240m3、含氟废水应急池有效容积230m3，用于收集事故状态下研磨废水和含氟废水，能满足事故状态下研磨废水（3.48m3/d）和含氟废水（43.837m3/d）8小时废水（研磨废水1.16m3、含氟废水14.612m3）储存量；生化废水应急池有效容积323m3，用于收集事故状态下生化废水，能满足事故状态下生化废水（680.314m3/d）8小时废水（226.771m3）的储存；企业环境风险事故应急池容积共计450m3（其中1#事故应急池270m3，MTS车间设置收集坑20m3，2#事故应急池160m3），用于收集消防废水（432m3）。应急池收容事故水的能力满足各全厂事故状态下，废水收集进入相应事故应急池，不会排入外环境，****处理站排出故障碳化硅生产厂房和刻蚀工序需停产，待废水站恢复正常运行时再生产。酸碱分配间和刻蚀区域应设置相应截流措施（四周设置截流沟），确保事故状态下将酸碱分配间和刻蚀区域泄露的刻蚀液收集起来，不外排。厂区配备消防器材，对场区工作人员进行消防培训，各厂区安装有毒、易燃气体泄漏报警装置，严格规章制度，加强管理，严禁携带火种进入涂装车间，并且车间内禁烟。危险废物贮存库采取防风、防雨、防晒、防渗、防漏、防腐和警示牌等措施；险废物用符合要求的专门容器盛装，暂存危险废物贮存库内。不同类别的危险废物已做到分区暂存，不混贮，严禁不相容物质混贮。 MTS采用双层罐车运输，在化学品车间内储存，MTS罐车存放区四周及地面进行重点防渗，设置截流沟和收集井，MTS储罐自配液位测漏装置测量夹层内的液位值，可及时发现MTS储罐是否发生泄漏。泄漏检测报警装置属于备用装置，厂区后期项目MTS和氢气发生泄漏，泄漏检测报警装置可通知工作人员，及时采取关应急措施，将风险控制到最小。制氢站固定式高压储氢容器应配备必要的安全附件，并应保证安全附件能够正常工作，**配备泄压装置、安全阀和爆破片。配套设置氢气探测报警装置、火焰检测探头和氢气纯度监测系统。企业已经编制环境风险评估及环境突发环境事件应急预案，风险防范****工业园区实现衔接和联动，将按照要求定期开展演练。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程