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ICP刻蚀真空系统（JJ20250560）采购公告

公告-招标公告

重庆 -重庆

发布时间： 2025年06月03日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

IC 真空系统采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

ICP刻蚀真空系统	****
2025-06-03 16:31:29	2025-06-06 18:00:00
****	货到验收合格付款

	合同签订15个工作日内
￥




****虎溪校区
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

ICP刻蚀真空系统

套

其他机械设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

极微探索

ICP-6A-MEC

￥

一、设备主要配置： 1.1 刻蚀工艺腔，铝材质，1个； 1.2 机架，铝型材，1个； 1.3 粗抽泵，抽速≥8L/S，1台； 1.4 高真空分子泵，抽速≥650L/S，1台； 1.5 高真空电动插板阀，Φ150mm，1台； 1.6 宽量程薄膜规真空计：13300Pa～1.3Pa，1个； 1.7 精密薄膜规真空计，133Pa～0.0133Pa，1个； 1.8 冷规真空计，1.0Pa-5.0E～6Pa，1个； 1.9 电感耦合电极，可加载功率不小于1000W，1套； 1.10 电容耦合电极，可加载功率不小于600瓦，1套； 1.11 工艺气体，C4F8、SF6、CHF3、CF4、O2、Ar； 1.12 电气控制系统，1套 1.13 电极专用恒温冷却水机，1台 1.14 设备用循环冷却水机，1台 1.15 设备用静音空压机，1台二、性能指标 2.1 极限真空：≤1.5E-4Pa； 2.2 设备升压率：≤6.7Pa/12h； 2.3 极限抽速：充干燥N2破真空后，抽至1.5E-4Pa＜12h； 2.4 本底抽速：充干燥N2破真空后，抽至5.0E-3Pa＜20min； 2.5 工艺气体：C4F8、SF6、CF4、CHF3、O2、Ar； 2.6 压力工作范围：0.5～5.0Pa；

电话支持:7x24小时;质保期限:1年;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;