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| 1 | 硬X射线自由电子激光装置-溅射离子泵 | 溅射离子泵 数量:一批 技术参数:抽气速度(N2):二极离子泵:20L/s至500L/s,极限压力:≤1×10-8 Pa,最大启动压力:≥1×10-3 Pa,最高烘烤温度:≥250℃。三极离子泵:75L/s至150L/s,极限压力:≤1×10-8 Pa,最大启动压力:≥1×10-3 Pa 目标:溅射离子泵与光束线真空腔体直接连接,为光束线设备提供超高真空工作环境。 供货周期为合同签订后4个月内,质保1年。 |
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