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| 氩团簇刻蚀装置 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 氩团簇刻蚀装置 |
| 预算金额: | 183.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
计划用于半导体多层膜材料表面处理和分析。主要利用氩团簇离子对样品表面进行轰击和刻蚀以探测半导体多层膜材料的深度信息。该系统主要包括氩气源、离子源、控制系统等。
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| 预计采购时间: | 2025-07 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写