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天津大学 - 竞价公告（CB100562025000177）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2025-06-04 15:48:15 截止时间：2025-06-09 15:00:00标书代写
申购主题： 高真空电阻蒸发镀膜设备
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/市辖区/**区/****
供应商资质：
备注说明： ****000232
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1.0/台（套） | 微纳真空 | VZZ-400 | 1. 真空腔室：净空间尺寸Φ400×H500mm； 2. 真空系统：分子泵抽速4320m3/h，前级泵抽速≥30m3/h，超高真空闸板阀，配备旁抽； 3. ★真空极限：优于2.5×10-5Pa； 4. 抽速：抽至4.0×10-4Pa≤18min； 5. 基片台：120×120mm，挡板尺寸≥φ145mm，转速0-25转/分连续可调，磁流体密封，水冷； 6. ★蒸发源：4组蒸发源，陶瓷绝缘结构，源上有气动水平打开式挡板，磁流体密封； 7. 蒸发电源：电源功率2.2 Kw /3Kw各一台，电流显示精度0.1安培，具备粗调微调功能； 8. 速率和膜厚监控：采用Inficon薄膜沉积控制仪在蒸镀过程中实时监控蒸发速率和膜厚，膜厚仪速率和厚度分辨率±0.015埃，可按设定速率蒸发； | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） |
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2025-06-04
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