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液空中芯东方大宗气站项目（第一、二阶段）

审批

上海

发布时间： 2025年06月05日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0000MABTUE6T09	胡大明
李永洁	**市自贸区临港新片区
中国（**）自由贸易试验区临港新片区丽正路1628号4幢1-2层

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

液空中芯**大宗气站项目（第一、二阶段）

2021版本:36--081-电子元件及电子专用材料制造	C39-C39-计算机、通信和其他电子设备制造业
	市自贸区临港新片区中国（）自由贸易**书院镇 XXCY-05 单元 01-02 a 地块（ 01-02b 地块、南至东四灶**侧绿化带、西至规划路、北至 X8 路（P5 快速路）南侧绿化带）
经度:121.83415 纬度: 30.99361	中国（）自由贸易**管理委员会
	2023-06-26
沪自贸临管环保许评〔2023〕60号	****
2024-11-22	25000
400	****
****0000MABTUE6T09	格**公司
913********3768596	埃欧孚(上****公司
****0117MA1J24G69N	2024-05-31
2024-06-01	2025-05-06
2025-05-06	2025-06-05
	https://e2.****.cn/jsp/view/index.jsp

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

企**书院镇 XXCY-05 单元 01-02 地块（ 01-02b 地块、南至东四灶侧绿化带、西至规划路、北至 X8 路（P5 快速路）南侧绿化带），建设液空中芯大宗气站项目。本项目为**项目	**书院镇 XXCY-05 单元 01-02 地块（ 01-02b 地块、南至东四灶侧绿化带、西至规划路、北至 X8 路（P5 快速路）南侧绿化带），建设液空中芯大宗气站项目。本项目为**项目
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目建成后，预计向相邻“中芯国际临港 12 英寸晶圆代工生产线项目”供应：一般氮气约 12.8 万吨／年、高纯氮气 12.5 万吨／年、高纯氧气 1892 吨／年、压缩空气 21.8 万吨／年、高压压缩空气 5.1 万吨／年、高纯压缩空气 1.2 万吨／年、高纯氢气 90 吨／年、高纯氩气 1216 吨／年、高纯氦气 77 吨／年、高纯二氧化碳 694 吨／年。其中各类氮气、氧气、压缩空气为现场制气，其余气体产品均为直接外购。整个项目分三个阶段完成建设。其中，第一阶段主要建成氮气和压缩空气临时系统，在客户产能爬坡阶段由多台小型规模设备灵活调整供气量；第二阶段主要建成直接外购气源的氮气、氧气、氩气、二氧化碳，以及氢气和氦气的供气系统；第三阶段主要建成氮气、氧气和压缩空气的正式制备系统。	项目建成后，向相邻“中芯国际临港 12 英寸晶圆代工生产线项目”供应：一般氮气约 12.8 万吨／年、高纯氮气 12.5 万吨／年、高纯氧气 1892 吨／年、压缩空气 21.8 万吨／年、高压压缩空气 5.1 万吨／年、高纯压缩空气 1.2 万吨／年、高纯氢气 90 吨／年、高纯氩气 1216 吨／年、高纯氦气 77 吨／年、高纯二氧化碳 694 吨／年。其中各类氮气、氧气、压缩空气为现场制气，其余气体产品均为直接外购。整个项目分三个阶段完成建设。其中，第一阶段主要建成氮气和压缩空气临时系统，在客户产能爬坡阶段由多台小型规模设备灵活调整供气量；第二阶段主要建成直接外购气源的氮气、氧气、氩气、二氧化碳，以及氢气和氦气的供气系统；第三阶段主要建成氮气、氧气和压缩空气的正式制备系统。本次仅针对一、二阶段验收。
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

第一、二阶段，氮气和压缩空气采取现场制备模式；氧气、氢气、氦气、氩气、二氧化碳采取外购供气模式。（1）氮气供应系统：在第一、二阶段暂用 4 套 APSA 临时系统为中芯供应氮气。APSA 系统制氮原理亦为低温精馏制氮，利用低温液氮（现场设 1 个 50m3 冷源液氮储罐，亦可用作备用气源）注入精馏塔内以提供精馏过程所需的部分冷量。液空供应的氮气通过大宗气体输送管线输入至中芯的大宗气体纯化间，一部分通过纯化和终端过滤后，作为 PN2 供中芯使用；另一部分终端过滤后，作为 GN2 使用。另外设置一台 2500 m3的液氮常压储罐、1 台 200 m3的液氮真空储罐及配套液氮汽化器作为氮气供应后备系统，并能通过液体槽车随时补充。（2）压缩空气供应系统：主要包括 9 台小型空压机，以环境空气为原料，经压缩和干燥除去空气中的灰尘和水分等杂质，再经终端纯化供给中芯。（3）氢气和氦气供应系统：氢气和氦气供应系统位于鱼雷车区，配置 2 台3800 Nm3 的高压氢气鱼雷车和 1 台 38000 Nm3 的高压氦气鱼雷车作为主供，另有 8 个高压氢气集装格（47 L16）和 10 个高压氦气集装格（47 L16）作为备用。鱼雷车中的高压气体经过减压阀调压，依次通过纯化和终端过滤后，供给中芯使用。（4）氧气、氩气和二氧化碳供应系统：均通过液体槽罐车采购，项目在厂内配置 2 台 20m3的液氧储罐及配套汽化器、1 台 50 m3的液氩真空储罐及配套液氩汽化器，1 台 20 m3的液体二氧化碳真空储罐及配套汽化器，外购液体原料通过槽罐车运输至厂内后，储存于储罐内，先通过汽化器汽化并调节至所需压力，再依次通过纯化和终端过滤后，供给中芯使用。（5）大宗气体输送：本项目共建设 8 条大宗气体输送管道，用于将液空的大宗气体输送至中芯**厂区的大宗气体纯化间。（6）质检：本项目大宗气体质量均采用在线分析检测。	第一、二阶段，氮气和压缩空气采取现场制备模式；氧气、氢气、氦气、氩气、二氧化碳采取外购供气模式。（1）氮气供应系统：在第一、二阶段暂用 4 套 APSA 临时系统为中芯供应氮气。APSA 系统制氮原理亦为低温精馏制氮，利用低温液氮（现场设 1 个 50m3 冷源液氮储罐，亦可用作备用气源）注入精馏塔内以提供精馏过程所需的部分冷量。液空供应的氮气通过大宗气体输送管线输入至中芯的大宗气体纯化间，一部分通过纯化和终端过滤后，作为 PN2 供中芯使用；另一部分终端过滤后，作为 GN2 使用。另外设置一台 2500 m3的液氮常压储罐、1 台 200 m3的液氮真空储罐及配套液氮汽化器作为氮气供应后备系统，并能通过液体槽车随时补充。（2）压缩空气供应系统：主要包括 9 台小型空压机，以环境空气为原料，经压缩和干燥除去空气中的灰尘和水分等杂质，再经终端纯化供给中芯。（3）氢气和氦气供应系统：氢气和氦气供应系统位于鱼雷车区，配置 2 台3800 Nm3 的高压氢气鱼雷车和 1 台 38000 Nm3 的高压氦气鱼雷车作为主供，另有 8 个高压氢气集装格（47 L16）和 10 个高压氦气集装格（47 L16）作为备用。鱼雷车中的高压气体经过减压阀调压，依次通过纯化和终端过滤后，供给中芯使用。（4）氧气、氩气和二氧化碳供应系统：均通过液体槽罐车采购，项目在厂内配置 2 台 20m3的液氧储罐及配套汽化器、1 台 50 m3的液氩真空储罐及配套液氩汽化器，1 台 20 m3的液体二氧化碳真空储罐及配套汽化器，外购液体原料通过槽罐车运输至厂内后，储存于储罐内，先通过汽化器汽化并调节至所需压力，再依次通过纯化和终端过滤后，供给中芯使用。（5）大宗气体输送：本项目共建设 8 条大宗气体输送管道，用于将液空的大宗气体输送至中芯**厂区的大宗气体纯化间。（6）质检：本项目大宗气体质量均采用在线分析检测。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目环评中一、二阶段临时系统空气冷凝水、循环冷却塔排水和生活污水都通过厂区污水总排口纳管排放。本项目采取的降噪措施中，选用低噪声设备、安装减振底座和阻尼部件降噪、空压机房设置隔声复合板、放空口设置消声器、靠近厂界布置的循环冷却水塔设置隔**集团各气站广泛采用的噪声污染防治措施，具有丰富的应用经验，通过根据气站实际场地布局和所在区域声环境管控要求有针对性地设置不同的设计参数，可以确保日常运营过程厂界噪声稳定达标排放。本项目一、二阶段产生的固废分类收集、贮存和处置，危废暂存于危废暂存间，委托资质单位处置；一般工业固废委托资质单位回收利用；生活垃圾由环卫部门清运。固废处置率达 100%，固废零排放。本期项目生态环境影响主要集中在施工期，运营期基本无影响。本期项目新增占地面积 26540.3 m2，均为工业用地。项目及评价范围内无重要物种，自然保护区、风景名胜区等特殊、重要生态敏感区，不涉及市生态保护红线。项目位于工业区内，周边生产生活活动频繁，由于人类的干扰，野生动物**较少，植物主要是农业植被和林地等人工植被。本期项目运营期无废气污染物排放，生产废水经厂内收集后纳入市政污水管网，生活污水定期外运处理。项目噪声采取合理降噪措施后，厂界噪声达到相应标准。厂区内各区域采取防渗分区以及防泄漏措施，液态化学品或废水发生跑冒滴漏事故对土壤和地下水造成的影响较小。经采取上述措施后，本期项目运营不会引起周边植物群落、植被覆盖度的变化，对生物多样性、生态系统结构及功能等影响很小，对评价范围内的永久基本农田和公益林基本无影响。	实际建设中，因周边市政配套设施尚不完善不具备纳管条件，因而一、二阶段的空气冷凝水通过水桶收集，作为循环冷却水塔补充水，循环冷却水塔排水纳入中芯生活区污水管网，经中芯生活区排口排放，**处理厂处理，而生活污水则由环卫车定期外运处理。本项目采取的降噪措施中，选用低噪声设备、安装减振底座和阻尼部件降噪、空压机房设置隔声复合板、放空口设置消声器、靠近厂界布置的循环冷却水塔设置隔集团各气站广泛采用的噪声污染防治措施，具有丰富的应用经验，通过根据气站实际场地布局和所在区域声环境管控要求有针对性地设置不同的设计参数，可以确保日常运营过程厂界噪声稳定达标排放。本项目一、二阶段产生的固废分类收集、贮存和处置，危废暂存于危废暂存间，委托资质单位处置；一般工业固废委托资质单位回收利用；生活垃圾由环卫部门清运。固废处置率达 100%，固废零排放。本期项目生态环境影响主要集中在施工期，运营期基本无影响。本期项目新增占地面积 26540.3 m2，均为工业用地。项目及评价范围内无重要物种，自然保护区、风景名胜区等特殊、重要生态敏感区，不涉及市生态保护红线。项目位于工业区内，周边生产生活活动频繁，由于人类的干扰，野生动物**较少，植物主要是农业植被和林地等人工植被。本期项目运营期无废气污染物排放，生产废水经厂内收集后纳入市政污水管网，生活污水定期外运处理。项目噪声采取合理降噪措施后，厂界噪声达到相应标准。厂区内各区域采取防渗分区以及防泄漏措施，液态化学品或废水发生跑冒滴漏事故对土壤和地下水造成的影响较小。经采取上述措施后，本期项目运营不会引起周边植物群落、植被覆盖度的变化，对生物多样性、生态系统结构及功能等影响很小，对评价范围内的永久基本农田和公益林基本无影响。
项目批复环评中，考虑到项目投运前期规划路及路侧敷设污水管网可能尚未建成，建议在污水总排口外设置临时排水管网，将本项目污水就近接入村现有市政污水管网。实际建设过程中，因现场不具备纳管条件，项目设临时卫生间，生活污水委托定期抽取外运；而其他生产废水则经排水主管部门协调，借由中芯生活区污水管网，经中芯生活区排口排放，**处理厂处理。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

落实土壤、地下水防渗措施建设和维护，避免对地下水造成影响。加强日常管理，落实环境风险防范措施，编制突发环境事件应急预案并备案；对各类非正常排放及突发事件切实采取防范措施，防止运行、检修期间发生风险事故。落实项目污染物排放总量控制。该项目新增排入环境的污染物总量为化学需氧量 0.798 吨／年，氨氮 0.0122 吨／年。落实环境管理、环境监测等各项要求，认真做好环保设施运行效果记录和日常监测，确保污染物治理设施稳定运行。落实施工期各项污染防治措施和生态环境影响减缓措施，文明施工，减少废水、扬尘、噪声和固体废物等对周围生态环境的影响，施工期按要求在靠近敏感目标的西侧、北侧场界处安装噪声、扬尘在线监测系统。项目批复环评中，计划由市政电网供电。项目批复环评中，临时冷却塔位置主要计划布置在临时生产区中部。	落实土壤、地下水防渗措施建设和维护，避免对地下水造成影响。加强日常管理，落实环境风险防范措施，编制突发环境事件应急预案并备案；对各类非正常排放及突发事件切实采取防范措施，防止运行、检修期间发生风险事故。本项目批复总量控制指标主要为针对第三阶段正式系统建成后的排放指标，本次第一、二阶段验收不作总量指标考核。落实环境管理、环境监测等各项要求，认真做好环保设施运行效果记录和日常监测，确保污染物治理设施稳定运行。落实施工期各项污染防治措施和生态环境影响减缓措施，文明施工，减少废水、扬尘、噪声和固体废物等对周围生态环境的影响，施工期按要求在靠近敏感目标的西侧、北侧场界处安装噪声、扬尘在线监测系统。由于周边市政配套设施尚不完善，本项目一、二阶段电力实际暂时由厂区南侧的中芯**供应。因临时生产区设备布置较为紧凑，临时冷却塔的位置调整至了临时生产区东侧。由于噪声敏感目标主要位于气站的北侧和西侧，因而该布局调整不会加重对周边敏感目标的噪声影响。
项目批复环评中，计划由市政电网供电。但项目建成后，由于周边市政配套设施尚不完善，本项目一、二阶段电力实际暂时由厂区南侧的中芯**供应。项目批复环评中，临时冷却塔位置主要计划布置在临时生产区中部，实际因临时生产区设备布置较为紧凑，临时冷却塔的位置调整至了临时生产区东侧。由于噪声敏感目标主要位于气站的北侧和西侧，因而该布局调整不会加重对周边敏感目标的噪声影响。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	1.6462	0	0
0.293	1.821	0.293	0.293
0.0023	0.102	0.002	0.002
0	0	0	0
0.122	0.2227	0.122	0.122
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

《污水综合排放标准》(DB31/199-2018) 表 2三级标准

因周边市政配套设施尚不完善不具备纳管条件，因而一、二阶段的空气冷凝水通过水桶收集，作为循环冷却水塔补充水，循环冷却水塔排水纳入中芯**生活区污水管网，经中芯**生活区排口排放，****处理厂处理，而生活污水则由环卫车定期外运处理。

1#循环冷却塔出水的 pH、CODCr、悬浮物、BOD5、氨氮、总氮、石油类、总锌、总余氯浓度满足《污水综合排放标准》(DB31/199-2018) 表 2 三级标准。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

低噪声设备、安装减振底座和阻尼部件降噪、空压机房设置隔声复合板、放空口设置消声器、靠近厂界布置的循环冷却水塔设置隔声屏障

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

低噪声设备、安装减振底座和阻尼部件降噪、空压机房设置隔声复合板、放空口设置消声器、靠近厂界布置的循环冷却水塔设置隔声屏障

厂区四界噪声测点昼、夜间等效声级均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3 类区噪声标准值。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

落实土壤、地下水防渗措施建设和维护，避免对地下水造成影响。

工厂的雨水总排口设置截止阀，在发生泄漏事故时，可通过关闭截止阀以防止有污染物料直接进入地表水体。危废暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的要求建设，铺设防渗地面，设置有围堰，并为液态危废配置防渗托盘等。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

应按《中华人民**国固体废物污染环境防治法》与**市有关规定分类收集各类固体废物并分别妥善处理处置，危险废物存放区符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）以及 2013年修改单要求（2023 年 7 月 1 日前）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597—2023）要求（2023 年 7 月 1 日起）。危险废物委托有资质单位处置，其收集、暂存、运输和处置过程均应符合国家和**市危险废物处理处置相关要求。

本项目一、二阶段产生的固废分类收集、贮存和处置，危废暂存于危废暂存间，委托资质单位处置；一般工业固废委托资质单位回收利用；生活垃圾由环卫部门清运。固废处置率达 100%，固废零排放。本项目危废暂存间的面积为 9 m2，贮存能力为 4.5 t。危废暂存间地面由上至下主要采用 50mm 厚防油混凝土、3mm 厚聚氨酯防水层、80mm 厚混凝土垫层兼防渗层，抗渗等级不低于 P6，以及 150mm厚碎石垫层及素土夯实。危废暂存间按规定设置警示标志，内部设有围堰，符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597-2023）要求。本期项目调试期未产生危险废物，产生的危险废物将置于包装容器中，并配备二次托盘防渗漏。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

落实施工期各项污染防治措施和生态环境影响减缓措施，文明施工，减少废水、扬尘、噪声和固体废物等对周围生态环境的影响，施工期按要求在靠近敏感目标的西侧、北侧场界处安装噪声、扬尘在线监测系统。

因为北侧和西侧最近的住宅在施工期已无人居住，对在线设备位置也相应进行了调整。按照《**市建筑施工颗粒物与噪声在线监测技术规范(试行)》，建筑施工在线监测系统设置 1 个监测点位的，应设置在施工车辆的主出入口，因此本期项目在线监测系统设置在了厂区东侧临时门（施工车辆主出入口）内.本期项目运营期无废气污染物排放，生产废水经厂内收集后纳入市政污水管网，生活污水定期外运处理。项目噪声采取合理降噪措施后，厂界噪声达到相应标准。厂区内各区域采取防渗分区以及防泄漏措施，液态化学品或废水发生跑冒滴漏事故对土壤和地下水造成的影响较小。经采取上述措施后，本期项目运营不会引起周边植物群落、植被覆盖度的变化，对生物多样性、生态系统结构及功能等影响很小，对评价范围内的永久基本农田和公益林基本无影响。

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

加强日常管理，落实环境风险防范措施，编制突发环境事件应急预案并备案；对各类非正常排放及突发事件切实采取防范措施，防止运行、检修期间发生风险事故。

本项目各类建构筑物和设备符合防火规范；对于存在爆炸危险的生产或储存场所，相应的建构筑物和设备符合有关防爆要求。企业对生产过程涉及的原辅材料和成品等进行分类储存。生产区、危废仓库、鱼雷车区等按要求设置了火灾控测器及报警装置、灭火器、消防栓等配套等检测及消防灭火措施。氢系统设有火灾检测系统、灭火系统及紧急停车系统，并配备便携式灭火器和便携式氢气检测报警仪，定期对系统进行氢气泄漏检测；在氢系统的爆炸危险区域内采取防止点火源的措施。各危险单元均根据实际需要配备了足量应急物资，由专人定期检查、维护保养，确保应急物资的有效性；对各区域消防设施、报警探测系统等定期测试，定期维护保养。并保存相关检查、更换、维护保养记录。工厂的雨水总排口设置截止阀，在发生泄漏事故时，可通过关闭截止阀以防止有污染物料直接进入地表水体。危废暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的要求建设，铺设防渗地面，设置有围堰，并为液态危废配置防渗托盘等。企业已编制突发环境事件应急预案，并于 2024 年 6 ****管委会备案，备案号 310115-2024-229-L。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程