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| 光学 3D 表面轮廓仪 | 1.0/ | SuperView W1 | SuperView W1 | z方向分辨率:0.1 nm 光源白光LED 影像系统1024*1024 干涉物镜10X 50X XY位移平台尺寸320*299mm,移动范围140*100mm,负载10kg,控制方式手动和电动兼容 水平调整±5°,手动 Z轴聚焦行程100mm电动控制 Z向扫描范围10mm形貌重复性STR 0.1nm | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |