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天津大学 - 竞价公告（CB100562025000184）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2025-06-05 11:59:53 截止时间：2025-06-09 10:00:00标书代写
申购主题： 小型磁控溅射镀膜机
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/市辖区/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 小型磁控溅射镀膜机 | 1.0/ | MS-246 | MS-246 | 2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接； 2.2 样品台尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调；可加热至800℃，配独立挡板； 2.3 真空系统：机械泵+国产分子泵（刀口法兰）；GDC-25b电磁挡板阀，DN63mm 限流阀； 2.4 极限真空：2.0×10-4Pa； 2.5 真空抽速：大气～8×10-4Pa ≤ 30min； 2.6 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa； 2.7 磁控靶：Φ2英寸2只配独立靶挡板，兼容直流电源和射频电源； 2.8 溅射电源：1台500W直流溅射电源和1台300W全自动匹配射频电源； 2.9 质量流量计：国产20sccm、50sccm质量流量控制器各一套； 2.10控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能； 2.11设备外形：L60cm×W60cm×H160cm机电一体化机架（以实际尺寸为准），预留1个CF35法兰接口； 2.12 设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）； 2.13 冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水； | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） |
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2025-06-05
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