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| 1 | EUV光源腔环境控制与流动测试平台 | 1. 等离子发生器:等离子体发生器功率要求0~300W连续可调,需内置质量流量控制器;真空度<0.1 Pa;等离子体密度:10-10cm3;可以处理O、N、Ar、H等气体成份;反应腔内径大于300 mm,高度150 mm;需要有过压、过流、过热保护;2. 质谱分析仪:质谱分析范围1-300 amu,分辨率>50 at 10% peak height;灵敏度大于1×10 A/mbar; 扫描速度>20 amu/s; 采样速率<1 ms; 背景噪音<10 A。 | ****000.00 | 2025-07 |