开启全网商机
登录/注册
电子科技大学 - 竞价结果公告（CB106142025000056）
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
***********公司企业信息
**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2025-06-09 10:22:06
申购单号： ****
申购主题： SG202****942001高真空镀膜机与手套箱
采购单位： ****
竞价开始时间： 2025-06-04 09:27:51
竞价截至时间： 2025-06-07 09:37:19
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 395000.00
送货时间： 合同签订后60天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| SG202****942001高真空镀膜机与手套箱 | 光拓与威格 | 400000.00 | 395000.00 | 按行业标准提供服务 | 高真空镀膜系统由底盘结构，基片架装置，蒸发源，控制软件，膜厚控制系统，真空室，真空系统等组成。 一、底盘结构： 1.采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门； 2.底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。 3.带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。 4.电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。 二、基片架结构 1.*可以固定1片100mm x 100mm的基片，向下兼容，采用嵌入式结构。 2.电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。 3.配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围100mm x 100mm。 4.腔体门板上安装有长条形观察窗，并附带挡板，通过磁流体打开与关闭。 三、蒸发源 1.4组蒸发源，热阻式，用于材料蒸发，可蒸发常见金属、有机及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm。 2.每个蒸发源电极均采用水冷式结构，以便可以长时间蒸镀。 3.每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，打开方式：左右旋转。 4.源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。 5.蒸发电源，功率不小于1.5KW，精度0.1A，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。 四、自动化控制软件 1.*采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，显示器通过机械手臂固定在设备框架。带有一键自动蒸镀功能。 2.控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换。 五、膜厚控制系统 1.2个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。 2.晶振探头，膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功能及速率稳定性。 3.*膜厚速率显示精度在±0.01A/S，蒸镀速率，可蒸金属: 以g为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±10%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性≤5%。 六、真空室 1.真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为300mm*300mm*530mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 2.*真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。 3.腔体极限真空优于3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护） 4.带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。 5.腔体内表面预留安装金属防污挡板接口，并配备金属防污挡板。 七、真空系统 1.前级泵的抽速不低于16m 3/h。 2.主泵采用抽速≥700l/s的分子泵。 3.主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥160mm。 4.自动抽气控制，带安全互锁功能。 5.配有前级管路等相应的硬件。 6.真空室配真空计，测量范围为大气至10-5pa。 一、箱体 1．个不锈钢箱体，单面双工位设计，尺寸为1200mm（长）X300mm（宽）X900mm（高）+1200mm（长）X750mm（宽）X900mm（高），左侧箱体背部对接蒸镀机，材质为SUS304不锈钢，厚度3mm。 2．两块倾斜的玻璃视窗，钢化玻璃厚度8mm,视窗与箱体之间的密封使用威格的专利密封技术，达到无泄漏。 3．四个铝合金手套口，由实心棒材加工而成。 4．两副丁基橡胶手套。 5．箱体背部设计三层搁物架，高度可调。 6．箱体预留有四个KF40标准接口。 7．双工位手套箱右侧工位，底部设计成钢板置物架。 8．安全阀，保护设备和手套箱内材料。 9．钢结构支架，高900mm，安装有万向脚轮。 二、过渡舱 1.一个T型大过渡舱（右侧可再连接一个单工位手套箱） 1)材质：SUS304不锈钢，厚度3mm。 2)尺寸：Φ370X800mm 3)位置：位于箱体右侧 4)连接方式：法兰连接 5)传送方式：通过移动托盘，托盘易拆卸，方便转移体积大的物料 6)操作方式 a)手动操作：通过触摸屏点触阀门 b)自动操作：具有自动抽气和充气功能，用户只需在触摸屏上点触启动按键，PLC自动完成多次抽充程序，规范操作，节省时间，提高工作效率。用户可以设定抽充次数，每次抽气时间和充气压力。 2.一个小T型过渡舱（右侧可再连接一个单工位手套箱） 1)材质：SUS304不锈钢，厚度3mm。 2)尺寸：Φ150X800mm 3)位置：位于箱体右侧 4)连接方式：法兰连接 5)传送方式：通过移动托盘 6)操作方式：通过三通球阀手动操作 三、气体纯化系统（分体式，置于T型过度舱下） 1.一个气体纯化柱： 1)选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛，用于除水和除氧 2)氧气和水的吸附量分别为60升和2公斤 2.气体纯化柱吸附饱和后，用含氢的氮气或氩气再生，恢复其吸附能力 1)用氢气/氮气混合气作为再生气。H2：5%； N2: 95%。 2)由于威格手套箱的超低泄漏率，净化柱的再生频率约为每年一次。 3.一个循环风机 1)流量60m3/h。 2)安装在密闭的不锈钢容器内，不锈钢容器采用全焊接方式制作，密封性能好。 3)由于威格手套箱的超低泄漏率，循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作5分钟，极大地降低了由于风机运转产生的热量，使得气体纯化系统无需水冷却，也**了风机的寿命 4.有机溶剂吸附柱 1)含活性炭颗粒吸附材料。 2)吸附饱和后，可更换材料。 5.电气动控制的循环主阀，KF40标准接口。 6.所有气路都由电磁阀控制，净化柱再生完全实现自动控制。 7.循环系统的进出口装有气体过滤器。 四、控制系统 1．控制系统由 PLC和7”彩色触摸屏组成，用户**的中英文操作界面。 2．实现以下控制功能： 1)自动控制箱体压力 a)用户可以在+10 至-10毫巴之间任意设定工作压力区间，PLC将自动调控箱体压力在设定范围内。工作压力区间的默认值为0至+5毫巴。 b)箱压大于12毫巴时，PLC自动开启安全阀泄压，保护手套、设备和箱体内的材料。 c)使用脚踏开关，对箱压进行微调。 2)单键实现过渡舱多次抽充气操作，节省时间 用户可以设定抽充次数、每次抽气时间和充气压力，然后启动自动抽充程序，在设定的时间内自动完成抽充。 3)循环净化可由箱体内水氧指标自动控制，极大地**了风机寿命、降低手套箱内的温度并节省能源 4)可以手动或自动监测泄漏率 a)设定手动检测：只需按下启动检测按钮，PLC自动对箱体的密封性进行检测并报告箱体的泄漏率。 b)设定自动监测，PLC将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标。这样能及时发现破损的手套和密封条等情况。 5)箱内气体自动清洗功能 用户设定清洗时间，再触摸屏上点触启动按键，系统将开始清洗箱体，到设定的时间是自动停止。 6)系统历史数据自动记录和显示，也可以用U盘导出在特定时间内的数据，如箱压、水含量和氧含量 7)显示操作错误和提示 8)箱体气氛自动报警 9)所有操作均有预设条件，动作互锁，避免不安全操作损坏设备或破坏箱体内的气氛 10)使用了威格手套箱智能控制系统V1.0嵌入式软件 五、技术指标 1．泄露率﹤0.001vol%/h 2．箱体内水、氧含量：H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm 六、蒸镀机 高真空镀膜系统由底盘结构，基片架装置，蒸发源，控制软件，膜厚控制系统，真空室，真空系统等组成。 1.底盘结构： 1）采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门； 2）底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。 3）带有机械 | 1.0 | GT300与SG2400/750TS | 395000.00 | **** |
招标进度跟踪
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
