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| 高真空电阻蒸发镀膜机 | 1.0/台 | 120000.0 | 北****公司 | ZHD300 | 产品名称:高真空电阻蒸发镀膜机;产品品牌:北****公司;产品型号 ZHD300;真空腔室:Φ300×H360mm(实际尺寸为准)SUS304 优质不锈钢真空腔室;真空系统:高性能脂润滑分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计;真空极限:8.0×10-5Pa(设备空载,抽真空 24 小时);升压率:设备升压率:≤0.8Pa/h(12 小时平均值);设备保压:停泵 12 小时后,设备真空度≤10Pa;抽速:从大气抽至 5.0×10-3Pa≤20min(设备空载);基片台:①基片台尺寸Φ100mm,承载最大样品尺寸小于Φ90mm;②旋转转速 0~20 转/分钟,可调可控。③选配基片台水冷(15℃至 25℃可调,环境温度)蒸发源及电源:金属蒸发源:水冷铜电极 2 组;逆变式蒸发电源:功率 3kW;2 台.膜厚不均匀性:≤±5%(单源蒸镀,基片台Φ100mm 范围内);控制方式 PLC+触摸屏控制; | 按行业标准提供服务 |