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氧化硅VHF加工系统
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3780000.00
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***********公司企业信息
****2025年5月政府采购意向-氧化硅VHF加工系统 详细情况
| 氧化硅VHF加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 氧化硅VHF加工系统 |
| 预算金额： | 378.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A020699其他电气设备
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| 采购需求概况 ： |
氧化硅VHF加工系统，1台,该刻蚀系统通过氮气携带氢氟酸，使液态氢氟酸变成可流动的气态，进而对硅表面的SiO2进行腐蚀。 1.适应于标准的超净间环境条件，对超净间环境条件无特殊要求和限制。 2. 设备必须采用国际上同行业中先进成熟的设计思想，制造技术。设备在质量上必须具有优良的品质，即可靠性要高，使用寿命长。设备必须具有良好的操作性，方便的维修性，可靠的安全性。 3.投标商须提供在全球范围最近三年内投标设备的用户名单。 4.为满足将来科研项目的潜在要求，要求采购的设备尽可能具备比较多的可升级条件。 5.能处理的硅片最大尺寸为8英寸(200mm) 。 6.针对工艺过程可能出现的异常情况，设备具备报警功能。
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| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-06-12
招标预告
氧化硅VHF加工系统
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